- 早期采用TiO2膜或MgF2/ZnS混合膜以增加對入射光的吸收,但該方法均需先單獨采用熱氧化方法生長一層10~20umSiO2使硅片表面非晶化、且對多晶效果不理想。SixNy膜層不僅減緩漿料中玻璃體對
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晶體硅 絲網印刷 HF-PECVD
- 市場需求催生創新動力,八零后的許子寒直接退學創業石墨烯,或許正緣于此。
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石墨烯 PECVD
- 以評估高深寬比TSV 應用的金屬化制程
濕式納米薄膜沉積工藝能夠以低持有成本提供20:1深寬比TSV
3D 整合正朝著中段鉆孔(via middle approach)的做法發展,即在前端工藝之后,但卻在堆疊之前形成TSV。一些應用正處于研發階段,導致TSV技術的限制和不同規格。 Alchimer 的技術顯示出突破現有障礙,實現高深寬比TSV 的潛力。此次協作將評估其技術的潛力及其大批量生產的適用性。
Alchimer 的執行長Bruno Morel 表示:「目前的技術,例如PECV
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Alchimer PECVD
- 應用材料公司宣布推出全新等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)薄膜技術,用于制造適用于下一代平板電腦和電視的更高性能高分辨率顯示。這些源自應用材料公司業界領先的AKT-PECVD系統的先進絕緣薄膜,使得基于金屬氧化物的晶體管的應用成為可能,制造出尺寸更小、開關速度更快的像素,從而幫助客戶推出更受消費者歡迎的高分辨率顯示屏。
應用材料公司的全新PECVD設備沉積絕緣介電薄膜,為金屬氧化物晶體管提供了一個良好的層間界面,從而最大限度地減少了氫雜質,提高了晶體管的穩定性,實現了顯示屏的優化性能。這些高
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應用材料 PECVD
- 為了應對市場變化,北方微電子在集成電路設備研發的基礎上加大了太陽能電池領域高端設備的研發投入,開發出集成電路12英寸65納米硅刻蝕機、晶硅太陽能電池PECVD設備和薄膜太陽能電池PVD設備,三種高端設備將在本次展會上同時亮相。
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北方微電子 集成電路 PECVD
- 光伏發電將成為未來電網的支柱和方向。隨著我國《可再生能源法》的頒布實施,以及近兩年我國光伏產業規模的迅速擴大,生產設備銷量也大幅增長。2006年國產光伏電池設備銷售額達到6億元,比2005年增長76.6%。預計2007年國產光伏電池設備銷售額將超過7億元。
各類國產設備與國際差距不一
PECVD產能及工藝水平已接近世界先進水平,得到越來越多國內用戶的使用,但設備自動化程度(自動裝卸片)與國外尚有差距。
全自動絲網印刷機在核心技術上無法取得突破,整體水平和國外差距較大,國內生產線幾乎全部采用了價
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模擬技術 電源技術 光伏發電 再生能源 PECVD 電源
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