北方微電子 高端微電子裝備國產化的實踐者

　　北方微電子自2001年10月成立以來，就肩負發展民族產業之重任，以推進高端微電子裝備國產化為使命，通過實施國家科技重大專項，實現了我國高端集成電路裝備的技術提升，同時積極向節能環保、新能源等新興戰略產業拓展。

　　2011年10月29日，北方微電子 “成立十周年暨新廠房落成”慶典在其亦莊新址隆重舉行。活動由國家02科技重大專項實施管理辦公室主任梁勝主持，北京市市委常委、常務副市長吉林、北京經濟技術開發區管委會主任張伯旭、國家02科技重大專項領導小組辦公室主任戴國強、總體專家組組長葉甜春、北京電子控股有限責任公司董事長、黨委書記兼北方微電子公司董事長王巖等領導，以及用戶、供應商、合作單位等400余位嘉賓出席慶典，共賀北方微電子成立十周年暨新廠房落成。

　　張伯旭主任、葉甜春組長、戴國強主任分別致辭，對北方微電子在十五、十一五期間取得的顯著成績表示祝賀，并表達了對北方微電子未來發展的美好祝愿和堅定信心。華虹NEC副總裁雷海波、上海藍光副總裁劉理想等用戶代表在會上發言，高度認可與北方微電子公司的合作，繼續攜手并進共創未來。

　　吉林副市長表示，北京會繼續加大對微電子領域高新技術發展的扶持力度。同時，要求北方微電子抓住機遇，積極參與國內外競爭，不斷發展壯大，為我國高端微電子裝備的技術研發和產業化做出新的貢獻。

　　10年來，北方微電子在多個技術領域實現了重大突破。

　　一、刻蝕機等產品的成功研制，填補了國內4項空白，帶動我國集成電路裝備研制水平的顯著提升

　　1)8英寸集成電路刻蝕機：國際先進水平，填補國內空白。國內首臺進入大生產線使用的8英寸集成電路核心工藝裝備，已成功銷往中芯國際、上海華虹、上海宏力、國家集成電路先導工藝研發中心等用戶，成為大生產線上的主力機臺，訂單累計1億元人民幣。

　　2)12英寸集成電路刻蝕機：國際先進水平，填補國內空白。國內首臺進入大生產線驗證的12英寸集成電路核心工藝裝備，已完成主流生產線的工藝考核，主要工藝性能指標達到國際同類產品水平，已取得客戶批量采購意向。

　　3)半導體照明刻蝕機：國際領先水平，填補國內空白。全球范圍內首次將12英寸集成電路刻蝕工藝技術應用于半導體照明領域，已實現對彩虹藍光、三安光電、中鎵半導體、同方光電、大連路明、湖南華磊、神光安瑞等主流客戶的銷售，2011年市場占有率超過50%(其中應用于藍寶石圖形化襯底的刻蝕機市場占有率超過80%)，訂單累計1億元人民幣。

　　4)太陽能光伏PECVD(等離子增強化學氣相沉積)設備：國際先進水平，填補國內空白。設備采用平板式大產能設計，應用多項集成電路核心技術，設備成膜的均勻性、減反射特性以及折射率等工藝技術指標均達到國際先進水平，已取得生產線量產驗證。

　　二、PVD設備、MOCVD設備研發進展順利，產品創新不斷升級，帶動本土企業擺脫國外壟斷，搶占產業制高點。

　　1)12英寸PVD(物理氣相沉積)設備：該產品由歸國海外專家、國內首批“千人計劃”學者帶隊攻關，采用國際領先的設計理念，產品可應用于銅制程工藝，目前已完成客戶產品工藝測試。該產品研制成功后，將打破國外廠商壟斷。該產品還可拓展應用于半導體照明、TSV先進封裝領域。

　　2)金屬有機物化學氣相沉積(MOCVD)設備：該產品國際領先的設計理念，一次可完成100片以上的2英寸芯片外延，產能是國外設備的2倍，已完成原理樣機的設計與組裝。該產品研制成功后，將大大提升我國半導體照明領域的產業競爭力。

　　北方微電子通過十年的發展，掌握了多項核心技術，截至2011年6月底，共計申請國內專利700余件，其中發明專利697件，PCT申請49件。

　　今年，是北方微電子成立的第十個年頭。近日，公司研發的12英寸65nm高密度等離子刻蝕機通過中芯國際北京工廠生產線全線工藝驗證，這標志著繼成功攻克8英寸100nm刻蝕技術難關后，北方微電子在追趕國際領先集成電路裝備技術的道路上，又邁進了一大步。

　　今年，北方微電子又承接了國家“十二五”《極大規模集成電路制造裝備及成套工藝》重大專項(02專項)“32-22nm柵刻蝕機產品研發及產業化”項目、“45-22nm銅互連PVD設備研發及產業化”項目。

　　北方微電子董事長王巖在致辭中表示，北方微電子將繼續以推進高端微電子裝備國產化為使命，確保國家科技重大專項的完成，實現我國高端集成電路裝備的技術提升，同時將積極向節能環保、新能源等新興戰略產業拓展，爭取在更多技術領域實現重大突破。