沈陽大力推進(jìn)機(jī)器人和IC裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展

　　沈陽富創(chuàng)承擔(dān)的“基于焊接和表面涂覆技術(shù)的大型鋁件制造技術(shù)開發(fā)”項目，已得到國家“十二五”02重大專項支持。“這一技術(shù)突破，使我們在半導(dǎo)體裝備，包括極大規(guī)模集成電路裝備的零部件加工能力達(dá)到國際領(lǐng)先水平。該技術(shù)還可拓展到航空、航天、航海等領(lǐng)域。”企業(yè)相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹。同時，中科儀、沈陽新松也獲得千萬元以上國家重大專項資金支持。

　　沈陽市科技局相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹，沈陽將大力推進(jìn)機(jī)器人、IC裝備等產(chǎn)業(yè)發(fā)展，把沈陽打造成以機(jī)器人為核心的高端裝備制造產(chǎn)業(yè)基地。

　　為推動機(jī)器人產(chǎn)業(yè)發(fā)展，沈陽將突出龍頭企業(yè)的研發(fā)活動，并以中科院沈陽自動化所為依托，設(shè)立新型研發(fā)實體，圍繞機(jī)器人產(chǎn)業(yè)鏈開展研發(fā)、中試相關(guān)工作，并鼓勵一批高新技術(shù)人才創(chuàng)業(yè)。

　　今年，沈陽新松開展了智能型工業(yè)機(jī)器人應(yīng)用研究，將力控制技術(shù)和視覺技術(shù)在機(jī)器人平臺上進(jìn)行集成應(yīng)用，開發(fā)了研磨拋光工業(yè)機(jī)器人，主要應(yīng)用于衛(wèi)浴五金行業(yè);視覺分揀機(jī)器人，可廣泛應(yīng)用于食品等行業(yè);精密裝配機(jī)器人，可應(yīng)用于家電電子等行業(yè)。“在IC裝備機(jī)器人方面，我們也進(jìn)行了集成傳輸平臺的研制。”新松相關(guān)負(fù)責(zé)人說。

　　IC裝備產(chǎn)業(yè)方面，沈陽將在繼續(xù)推動承擔(dān)國家重大專項的同時，研究如何通過風(fēng)險投資、股權(quán)激勵等政策措施，鼓勵企業(yè)發(fā)展壯大。

　　在IC裝備產(chǎn)業(yè)方面，沈陽是中國具有較高影響力、較強(qiáng)產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢的城市之一。僅今年上半年，沈陽IC裝備企業(yè)就實現(xiàn)產(chǎn)值12億元，同比增長11.6%，實現(xiàn)營業(yè)收入8.7億元，同比增長11.5%，實現(xiàn)利潤8500萬元，上繳稅金1600萬元。

　　沈陽荊拓公司最新研發(fā)的12英寸高產(chǎn)能生產(chǎn)型PECVD設(shè)備，不僅與華進(jìn)、蘇州晶方等半導(dǎo)體公司簽訂設(shè)備采購合同，而且成功進(jìn)入臺灣市場，企業(yè)申請專利69項，已獲得授權(quán)38項。沈陽芯源公司“凸點封裝涂膠顯影、單片濕法刻蝕設(shè)備的開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項目，截至目前已實現(xiàn)銷售43臺，銷售額達(dá)5840萬元，產(chǎn)品出口達(dá)650萬美元，并向LED等領(lǐng)域輻射，銷售額達(dá)1.08億元。沈陽市科技局將組織實施機(jī)器人產(chǎn)業(yè)重大科技專項和技術(shù)成果轉(zhuǎn)化工程，開展機(jī)器人產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新服務(wù)體系建設(shè)。設(shè)立“機(jī)器人與智能制造創(chuàng)新研究院”，實現(xiàn)科研與產(chǎn)業(yè)有效銜接。