多位大咖發聲，如何推動國產半導體設備產業發展？

8 月 10 日，CSEAC 第十一屆（2023）半導體設備年會在無錫召開。本屆會議各大論壇座無虛席，這樣的盛況反映了半導體設備正越來越受到重視。美國政府對中國半導體設備進口的限制，讓過去不太「熱」的半導體設備產業走向人們關注的中心。華潤微、中微半導體、富創精密等 CEO 為國產半導體設備發聲。中微半導體 CEO 尹志堯博士總結了美國從 2019 年開始對中國集成電路限制產業所出的「十五招」。

1.2019 年，荷蘭政府在美國政府的干預下，不允許 ASML 給國內晶圓制造的龍頭企業中芯國際付運最先進的 EUV 極紫外光刻機，為開發先進的芯片設置極大的障礙。

2.2020 年 4 月 17 日，美國政府宣布不允許中國的芯片公司用涉及美國設備和技術制造的芯片，供應給軍方。

3.2020 年 5 月 15 日，美國政府出臺新的出口控制政策，不允許任何芯片公司用涉及美國設備和技術，為國內芯片設計龍頭公司海思制造他們設計的芯片。

4.2020 年 8 月 17 日，美國商業部宣布，任何使用美國設備和軟件為華為生產產品都要獲得美國的許可證。

5.2020 年 8 月 27 日，美國商業部限制對中國出口半導體制造設備及相關軟件工具、激光器、傳感器。

6.2020 年 9 月 25 日，美國商務部要求向中芯國際提供設備和技術都要申請許可。

7.2020 年 12 月 18 日，美國商業部宣布將中芯國際列入「實體清單」，美國設備和關鍵零部件都要申請許可，10 納米及以下不給予許可。

8.2021 年 1 月 15 日，美國國防部將中微半導體設備公司列入「涉軍企業」名單。經過據理力爭已從名單撤除。

9.2022 年 7 月-8 月，美國出臺《2022 年芯片與科學法案》，宣布 520 億美元投給芯片產業，涉及設備制造、研究發展、人員培養、成果轉換等；提供為期 4 年的 25% 的稅收減免，以鼓勵企業在美國本土建廠；總共 2000 億美元科學和技術研究基金。

10.2022 年 7 月底，對美國芯片制造設備行限制，美主要設備廠商在未經許可的情況下，不可向中國大陸芯片制造商出貨。

11.2022 年 8 月初，出臺對中國芯片設計行業 (EDA) 的限制。

12.2022 年 10 月 5 日，美國商業部工業安全局將 31 個中國公司列入 UVL 未確定名單，包含幾家集成電路制造和設備公司。美國商業部明示，要求這些公司主動和商業部溝通，如果能提出有說服力的終端客戶信息，排除涉及軍方項目，會將他們從清單上撤除。但是如果不能主動溝通，60 天以后就會將他們列到實體清單。

13.2022 年 10 月 7 日，美國商業部工業安全局發布對中國集成電路先進制程的限制法案。這個法案可以用一句話說明: 美國人和美國公司 (American persons) 沒得到商業部許可，不得參與在中國芯片制造人工智能芯片，超算芯片，16/14 納米及以下 FinFET 和 GAA 邏輯器件，18 納米及以下的 DRAM 器件和 128 層及以上的 Falsh 器件，不得提供設備。

（AmericanPersons 是指四種人：美國公民，持美國綠卡的人，在美國生活和工作的外國人，在美國注冊的，總部在在美國的法人公司，該這個法案只對「美國人」包括美國公司法人有法律效力，對在中國注冊的中國公司沒有法律效力。）

14.2022 年 12 月 美國商業部工業安全局將 32 個中國公司列入「實體清單「，美公司不得提供設備。

15.美國政府極力推動日本政府和和荷蘭政府跟隨美國不得參與我國先進芯片研發和生產，不得提供設備。日本政府在 2023 年 5 月 23 日發布了對 23 種半導體設備的出口限制。荷蘭政府也將出臺對光刻機限制出口的細節。

在美國時間 8 月 9 日，美國總統拜登簽署行政令設立對外投資審查機制，限制美國主體投資中國半導體和微電子、量子信息技術和人工智能領域，成為限制中國半導體的第十六招。從美國政府的種種限制中不難發現，半導體設備頻頻出現。這是因為半導體設備是集成電路產業的基石，限制了設備就可以限制行業的進步。

工欲善其事，必先利其器

數碼產業是一個倒置的三角形，從應用層面來看，數碼產業可能會有上幾十億的幾十萬億美金的規模；所有的應用都要有一個硬件支撐叫電子系統，可能有幾萬億的產值；這些電子系統又被半導體芯片的設計和制造所支撐；而半導體設備則是半導體芯片制造的支撐。如果不能做出這樣高精尖的半導體微觀加工設備，就做不出芯片。

尹志堯博士介紹，目前一條 12 英寸的生產線大概需要 100 億美金的投資，其中 70% 用來買設備，總體來說要買 10 大類設備，細分的設備超過 170 種，細分到型號可能有 300 多種?？偟膩碚f，需要 3500 臺設備構成一條生產線，這樣的數據組反映了設備市場的重要性與復雜程度。

隨著中國大陸半導體芯片市場需求的旺盛，半導體設備和材料市場也在逐漸蓬勃。當前全球半導體設備制造市場上，美國制造商占比 45.64%、日本 31.05%、歐洲 21.91%；前五大制造商 AMAT/ASML/LAM/TEL/KLA 占比約 66%。與此同時，中國已經成為全球最大的設備市場，這樣的數據表明，中國半導體設備制造商有著極大的潛力。在這樣的背景下，半導體設備公司如何把握機遇成為了重要議題。

內卷時代，產業鏈上下游需要協同發展

華潤微電子執行董事、總裁李虹博士表示，隨著半導體設備、材料及零部件等供應鏈環節重要性凸顯，國產化進度進入到動態調整期，制造、設備企業對國內基礎材料和零部件企業的支持力度明顯提升，驗證進度已經開始加快。已經有多家國產設備細分龍頭出現。

與此同時，多個產業鏈上的公司表示行業出現了內卷的情況，而這有可能影響半導體設備行業的發展。2010 年，半導體設備行業曾經出現了「藍光熱」現象，曾經有 54 家企業宣布要開發 GaN LED MOCVD 設備，其中大部分企業都拿到了投資；然而六七年后，52 家公司的項目都宣布終止。這種現象反映了行業的內卷，是對人力、物力、財力的浪費。

對于正在迎頭追趕的半導體設備產業，如果大量出現專利抄襲、人才挖角、投資機構盲目投資之類的惡行問題，對整個行業的傷害是極大的。尹志堯博士表示，內卷在高科技領域其實是一種正?，F象，但為了行業的健康發展，要杜絕的是惡性競爭；對此他也提出建議，政府和行業需要制定一些公平競爭的法則和規劃，降低內耗，防止惡性競爭來促進產業的健康發展。

半導體設備零部件公司富創精密董事長鄭廣文也提到，當前半導體零部件企業面對的一個難題就是需求端的引領不足。零部件廠商需要了解產品的精度，但是沒有客戶就沒有方向。對于集成電路產業來說，越是上游就越要預測下游的趨勢，就越要走到下越前面。然而如果沒溝通、協作，上游廠商就無法與下游客戶一起發展。在這樣的情況下，「協同發展」整個集成電路產業從業者共同的訴求。

同時，整個行業已經意識到了產業協同發展的重要性。富創精密就曾配合客戶從 0 到 1 完成一款設備的導入上線。

半導體產業的關鍵在于人，尹志堯博士在演講中提到，中國留學生在多個半導體設備的研發中都充當了重要角色。而很多設備的領軍的人物都已經回國，成為國內半導體設備公司的中堅力量。所以可以相信，在一段時間后，中國能開發出有國際競爭力的設備產業。

我們處在一個數碼時代，而它的核心是微觀加工，微觀加工的核心是微觀加工的設備。在這個「越做越小」的時代，國內集成電路行業需要把自己的格局放大。