行動裝置與MEMS革命齊頭發展

　　表面聲聲波濾波器(SAW Filter，Surface Acoustic Wave Filter)對于手機的天線(收發)轉換開關而言，可說是個重要支柱。2005年，美國安捷倫(Agilent)科技推出了BAW(Bulk Acoustic Wave)濾波器，不僅足足節省了3/4的電路板空間，更為MEMS微機電(micro-electro-mechanical systems)硬件開辟一條前往行動世界之路。BAW組件因不具有可移動的內部零件，與其他的MEMS組件是有所區隔的，但業界專家仍將它歸在MEMS類別，因為就制程而言，BAW采用了和MEMS類似的概念。

　　MEMS微機電應用在智能手機領域，進而獲得重大突破之時機點，是在蘋果透過模仿人類在真實世界工作的形式，進一步將MEMS硬件導入動作元素到用戶接口之后的幾年才真正發揚光大。蘋果在iPhone裝設了加速度計，賦予觸控屏幕擁有自動切換橫、直向顯示的功能，造就了導入MEMS傳感器的智能手機開啟了新的應用平臺并進一步強化連接的魔力。

　　蘋果在iPhone5使用4顆MEMS傳感器以及三星在Galaxy S4智能手機使用高達8顆MEMS傳感器。業界專家預測，未來新型智能手機想要進一步實現室內/室外導航、定位、虛擬現實游戲、增強真實功能等應用，將會采用高達30顆的MEMS組件。同時，MEMS硬件也將成為擔任LTE手機天線及數字調諧電容器，在不同頻段與多個蜂窩技術之間頻繁交換的重要亮點。

　　隨著裝置整合的需求不斷持續升溫，以加速度計與陀螺儀為例，開始出現將兩者整合到單一封裝中，其次，傳感器與處理能力亦走向整合的趨勢。從蘋果近期推出的iPhone 5S便可窺知端倪，iPhone 5S內建的M7動作協同處理器(motion co-processor)便是為可攜式電子產品的MEMS創新技術開啟新的一扇門。M7動作協同處理器能夠用于集中控制多種動態感測信息，包括加速傳感器、陀螺儀和羅盤，并能持續監控這些傳感器的變化。在行動裝置上運行動作處理算法，再從應用處理器卸除傳感器模塊，整個過程僅消耗1%的電力。

　　智能手機與平板計算機的相繼問世，進而帶動MEMS硬件呈現倍數成長，透過MEMS加速度計與陀螺儀，能夠提供觸控屏幕具有辨識方向的能力以及協助用于加速位置定位與導航相關應用程序;此外，MEMS麥克風、指南針、壓力傳感器等亦能提供行動裝置進一步實現更多功能與應用。根據市調機構Yole Developement報告指出，2012年，基于MEMS的行動零組件市場價值超過20億美金，除此之外，Yole Developement更透漏意法半導體在2012年MEMS銷售總額直逼10億美金。

　　那么，MEMS除了讓行動市場蓬勃發展，還有其他更多的延伸應用嗎?舉凡像是智能手表的穿戴式以及物聯網相關的消費裝置，看起來確實像是MEMS生態系的下一波大市場。除此之外，醫療保健以及健康相關亦是MEMS組件另一個發展方向，透過MEMS能夠開發出新一代醫療裝置藉以應用在診斷、治療、監測、醫療器材、保健計劃管理等領域。