電源：大型UPS在半導體制造廠的應用
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一.引言
半導體制造業(yè)是全球十大重點產業(yè)之一,是技術資金密集,技術進步和投資風險高的產業(yè).中緯公司是浙江省至今唯一的6英夾酒制造項目,該項目于2003年7月投產以來,當前的產量已達10000片/月.半導體制造廠對電力網的穩(wěn)定運行有較高的要求.晶園代工企業(yè)的精密設備不能忍受這種短暫的電壓閃變、跌落、瞬時供電中斷,每次電壓閃變都可能導致生產出廢品，甚至使得某些機器出現(xiàn)重新啟動的現(xiàn)象。
公司裝有Powerware 9315 UPS 2*200KVA,3*625KVA共計5臺.共容量:2275KVA,位于PUB3F, 2*200KVA主要為FAC系統(tǒng)的UPW,PCW,PCT,PV及FAB的部分照明提供可靠電力, 3*6250KVA主要為FAB的TOOLS(注入、擴散、光刻)等機臺提供穩(wěn)定的供電之用.
二. Powerware 9315系列UPS工作方式與性能特點
1.UPS本公司的工作示意圖如下:
a. 2*200KVA并聯(lián)單線圖
b. 3*625KVA (2+1)熱同步并機單線圖
2. Powerware 9315系列UPS特點：
a、獨特且可靠的并機技術
Powerware 9315采用獨特的“熱同步”直接并機技術，在各UPS單機之間無需通訊電纜連接來傳遞實時信號，就可實現(xiàn)并機的“均流”控制。對于并機系統(tǒng)中的各臺UPS，它們都處于完全“平等”的調控狀態(tài)之中。采用獨特的“小步長，高頻率”同步相位調制法。每臺UPS能“智能”地將位于并機系統(tǒng)中的各臺UPS的同步跟蹤調到最佳狀態(tài)(彼此之間的相位差幾乎為零)和實時動態(tài)地調節(jié)所帶的負載百分比。實現(xiàn)高精度的負載均分，并在逆變器萬一發(fā)生故障時，將有故障的UPS迅速、可靠地從并機系統(tǒng)中脫機，從而確保并機系統(tǒng)繼續(xù)向用戶提供高質量的逆變器電源。并機系統(tǒng)的負載電流“均流”不均衡度小于2%
b、智能化電池管理系統(tǒng)DC Expert
為確保電池的有效使用壽命，配置具有完善的智能化電池管理系統(tǒng)，獨特的電池測試維護軟件。利用DC Expert的“自診斷”定時監(jiān)控功能使您對電池的維護進行預先策劃，從而避免在發(fā)生市電停電時，因電池損壞而引起負載供電中斷的重大事故，提高整機供電系統(tǒng)的可靠性。
c、獨特的控制板通訊技術
采用高性能微處理器“數(shù)字信號控制技術”+軟件可編程調控技術+控制板間的網絡通訊技術，大大減少控制板數(shù)量和控制板之間的傳輸連接線，確保UPS具有高可靠性和高一致性。
d、極強的抗過載能力
具有極強的抗輸出過載能力(300%,300毫秒)+優(yōu)良的抗輸出短路限流能力，可確保逆變器安全可靠地運行。
e、大屏幕液晶顯示功能
f、遠程監(jiān)控功能及電源監(jiān)察院控管理軟件
Powerware 9315系列UPS同時向用戶提供RS232和RS485接口，一組繼電器干接點輸出接口和一組“用戶自定義”報警信號輸入接口等四種通訊接口，再配置上POWERWARE公司所提供的電源監(jiān)管軟件，就可組成具有網絡管理功能的智能化UPS供電系統(tǒng)，從而可實現(xiàn)遠程集中監(jiān)控。PowerVision軟件提供了預先報警的功能，而ForeSeer軟件通過SNMP為您提供全方位的企業(yè)管理。
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