SiC基板廠商紛紛開發6英寸產品

　　晶圓(基板)左右著SiC功率元件的成本和性能。在ICSCRM上可以看到，很多SiC基板廠商都在手開發口徑6英寸(150mm)的產品。現在生產的功率元件SiC基板的最大口徑為4英寸(100mm)。將口徑增大到6英寸，有利于提高SiC制功率元件的生產效率和削減成本。

　　估計最早可投產6英寸產品的是擁有最大市場份額的美國科銳公司。該公司的目標是2011年內供應樣品，在本屆ICSCRM上，公布了其減少6英寸產品的中空貫通缺陷的工作正在順利進行。該公司不僅制造功率元件，還在利用SiC基板制造藍色LED芯片。因此，即使基板比功率元件用SiC基板的結晶缺陷多，仍可得到利用。也就是說，該公司具有把6英寸SiC基板用于LED，并逐漸加以改進，之后再用于功率元件的優勢。

　　除科銳以外，還有很多廠商正在開發6英寸產品。比如，新日本制鐵和美國道康寧公司，兩家公司都以2012年內供應樣品為目標。另外，美國貳陸(II-VI)公司提出了2013年樣品供貨的目標。

　　由上可見，很多SiC基板廠商已轉向開發6英寸產品。口徑增至6英寸，雖然能夠提高SiC制功率元件的生產效率，但結晶缺陷增加會導致成品率降低。因此，能否在保持現行4英寸產品的結晶品質下實現6英寸的大口徑化，將是決定勝敗的分水嶺。