沈陽硅基科技訂購EVG設備用于SOI晶圓制造

　　據了解，MEMS、納米技術和半導體市場領先的晶圓鍵合和光刻設備供應商EVGroup(EVG)在SEMICONChina2011展會期間宣布，公司新客戶沈陽硅基科技有限公司訂購了一臺EVG850LT自動鍵合系統用于SOI晶圓制造。這家中美合資公司將采用EVG850LT來實現SOI晶圓的大規模量產，該設備已在2010年9月出貨。

　　據沈陽硅基科技有限公司總裁海鳳濤介紹，公司選擇EVG的晶圓鍵合設備是由于EVG850設備在吞吐量和良率方面的良好表現。“我們已經開始大規模量產SOI晶圓，對EVG系統印象非常深。EVG是SOI鍵合設備市場的領導者，采用他們的設備將幫助我們更順利地將研發成果轉為大規模生產，同時確保客戶所購買的晶圓是由業界標準的SOI鍵合系統制造而得。”