- 6月18日，記者從沈陽硅基科技有限公司(下稱硅基科技)獲悉：該企業制造的SOI晶圓，經過全球領先的半導體跨國公司美國德州儀器公司測試，結果顯示所有指標均達到客戶需求，良品率高達98.3%以上。在此之前，硅基公司的這種產品也通過了中國最大半導體制造商中芯國際的相關測試。中美兩大客戶認可，標志著我市自主知識產權的SOI產品可以進入量產階段。
硅片作為最重要、最常用的半導體材料，是芯片生產過程中必不可少的、成本占比最高的材料。因材料關鍵，一直被發達國家壟斷并對我國封鎖。SOI晶圓(即絕緣層上硅)是一種
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硅基科技 晶圓
- 據了解，MEMS、納米技術和半導體市場領先的晶圓鍵合和光刻設備供應商EVGroup(EVG)在SEMICONChina2011展會期間宣布，公司新客戶沈陽硅基科技有限公司訂購了一臺EVG850LT自動鍵合系統用于SOI晶圓制造。這家中美合資公司將采用EVG850LT來實現SOI晶圓的大規模量產，該設備已在2010年9月出貨。
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硅基科技 晶圓制造
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