半導體設備業要超越才能發展

　　•半導體設備領域門檻很高，同時風險比較大

　　•只有中國芯片產業的大發展，才能支撐半導體設備產業的發展

　　因為政府的大力支持以及民間的努力，近年來，我國很多地區都相應地開發出不同的、很有競爭力的半導體設備。以上這些，可以說都是最近幾年中國半導體設備產業的亮點。當然這些成績也只是國產設備初步的發展，要真正做到國產高端設備全面進入國內和國際兩個市場還需要相當多的努力。

　　中國半導體設備產業發展也有幾十年了，我們的設備之所以不能進入大生產線，一方面是工藝問題，另一方面，我們并沒有完全搞清楚研發生產的樣機與能夠在大生產線上重復、可靠、安全使用的生產設備的區別。要做出一個真正能夠在生產線可以使用的設備，重復性、可靠性、安全性非常重要。樣機出來了，工藝也走通了，只是完成了設備的10%，要進入大生產線還有90%的事情要做，其中包括市場開拓，客戶評介，售后服務等一系列的問題。

　　國內設備公司只立足國內市場是很難生存的，因為中國市場只占國際半導體設備市場的5%，甚至更小。但如果進入國際市場就會遇到很高的壁壘，這個壁壘不僅僅是技術的壁壘，還有區域性、政治性壁壘以及法律的風險等。因此，只有中國芯片產業的大發展，才能夠支撐中國半導體設備產業的發展。

　　中微在進行設備研發之初就知道，我們不能按照國外最先進的技術進行設計，因為即使我們做出來同樣先進的設備也沒辦法打入市場與對手競爭，用戶不可能花時間測試一件他們已經有的設備，所以，我們必須設計出超過國外設備能力的，包括工藝加工方面的能力，特別是在產能和成本方面有相當優勢的產品，才有可能打入市場。中微的設計基本圍繞兩個方面，一是在反應器的設計上采用甚高頻去耦合的反應離子刻蝕技術，這在當時是最新的概念，最近5年，國際上同類公司都采用了這一技術，證明我們早期的選擇是正確的。另外一方面，我們設計了一個可以單臺獨立操作的雙臺反應器系統，到現在為止，業界已經廣泛地接受了這種可以單臺操作的但是是雙臺反應器的系統，這個概念的設備，可以使客戶得到35%左右的生產效率的提高以及35%左右成本的節省，同時設備的占地面積也相應地減少 35%左右。這樣的設備才有競爭力。中微目前已經完成了第一代產品的開發并已初步進入市場，在生產線上也已經得到非常穩定的結果。目前公司面臨兩個任務，一個是設備全面進入市場，提高產量，擴大市場占有率，二是，公司目前也在緊鑼密鼓地開發下一代產品，下一代產品也會很快進入市場，下一代產品將可以做到 22nm級甚至更為先進。

　　中國半導體設備業要發展，首先要有一個很好的設計理念，不能跟蹤國外的技術，這是沒有前途的，一定要找到一個突破點，在技術上或者設計上、產量上、成本上有獨到的地方。只有“趕上”在設備行業是沒有辦法生存的，必須超過。其次，要注意市場推廣和銷售問題。做出一個好產品如何打市場，如何進行銷售、如何做好售后服務，這些都是非常重要的問題。

　　隨著半導體照明市場快速啟動，LED外延芯片的核心設備MOCVD市場日益受到關注。中微具有高壓熱化學反應的經驗，面對發展非常快速的LED市場，中微已經決定進入MOCVD領域，并將快速推出具有競爭力的設備。