北京爍科中科信多臺離子注入機順利交付
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近日，北京爍科中科信電子裝備有限公司通過官方微信宣布，公司多臺離子注入機順利完成交付。
資料顯示，北京爍科中科信自成立之日起，就以攻克離子注入裝備關鍵技術瓶頸，支撐我國電子元器件制造工藝裝備自立自強為主責，以離子注入機裝備研發與產業化為主業，全力保障我國產業鏈供應鏈安全與穩定，成功入選第五批國家級專精特新“小巨人”企業培育名單。
目前，北京爍科中科信中束流及大束流設備均已達成工藝指標，且工藝水準經過了先進集成電路產線驗證，兩種設備產線晶圓制備累計超過2000萬片。高能離子注入機作為剛上線不久的兆伏級設備同樣打通了28納米節點，且與同類型設備相比，能量范圍更寬、注入均一性能更好。
編輯：芯智訊-林子
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