納米壓印設備可繞過EUV量產5nm！佳能CEO：無法賣到中國！

11月6日消息，據彭博社報道，佳能公司正計劃將其新的基于“納米壓印”技術的芯片制造設備的價格定為ASML的EUV光刻機的1/10。由于該設備可以用于制造5nm尖端制程芯片，且不是基于光學技術，或將成為中國繞過美國限制來制造尖端制程芯片的可行方案。但是，佳能首席執行官三井藤夫在采訪中表示，該設備無法出口到中國。

尖端制程嚴重依賴EUV光刻機

總部位于荷蘭的ASML是目前全球最大的光刻機廠商，同時也是全球唯一的極紫外光刻設備供應商。EUV光刻機是目前世界上最先進的芯片制造設備，每臺成本高達數億美元。

雖然目前在光刻機市場，還有尼康和佳能這兩大供應商，但是這兩家廠商的產品主要都是被用于成熟制程芯片的制造，全球市場份額僅有10%左右，ASML一家占據了90%的市場份額，并壟斷了尖端的EUV光刻機的供應。

目前7nm以下的先進制程芯片的大規模生產主要都是依賴于ASML的EUV光刻機，但只有少數現金充裕的公司才有能力投資購買這些EUV光刻機。

即便如此，EUV光刻機仍因為其在尖端芯片制造供應鏈中的關鍵地位而一直受到出口管制審查。多年前，美國就有向其盟友——荷蘭施壓，要求其限制EUV設備出口到中國。今年6月30日，荷蘭政府正式出臺了新的半導體出口管制措施，ASML被禁止向中國客戶出口EUV系統以及先進的浸沒式DUV系統。

這也意味著中國想要突破到5nm，甚至更尖端的制程工藝將會面臨極大的困難。

繞過EUV，佳能納米壓印技術可量產5nm

今年10月中旬，佳能公司宣布開始銷售基于“納米壓印”（Nanoprinted lithography，NIL）技術的芯片生產設備 FPA-1200NZ2C。佳能表示，該設備采用不同于復雜的傳統光刻技術的方案，可以制造5nm芯片。

此前佳能一直專注于制造不太先進光刻機產品。直到2014年，佳能收購了Molecular Imprints股份有限公司，開始押注納米壓印技術。近十年來，佳能一直在與日本光罩等半導體零組件制造商大日本印刷株式會社（DNP）和存儲器芯片制造商鎧俠（Kioxia）合作研發納米壓印工藝。該技術可以不使用EUV光刻機，就能使制程技術推進到5nm。

佳能表示，這套生產設備的工作原理和行業領導者 ASML 的光刻機不同，其并不利用光學圖像投影的原理將集成電路的微觀結構轉移到硅晶圓上，而是更類似于印刷技術，直接通過壓印形成圖案。

相較于目前已商用化的EUV光刻技術，盡管納米壓印技術的芯片制造速度要比傳統光刻方式慢，但鎧俠在2021年就曾表示，納米壓印技術可大幅減少耗能，并降低設備成本。原因在于納米壓印技術的制程較為簡單，耗電量可壓低至EUV 技術的10%，并讓設備投資降低至僅有EUV設備的40%。

佳能首席執行官三井藤夫在最新的采訪中表示，這項新的納米壓印技術將為小型半導體制造商生產先進芯片開辟一條道路。“價格將比ASML的EUV光刻機低一位數（即僅有10%）”這位88歲的老人上一次退出日常運營是在2016年，現在是他第三次擔任佳能公司總裁。他補充說，佳能尚未做出最終定價決定。

另外，納米壓印設備還可以使得芯片制造商降低對于ASML的EUV光刻機的依賴，使得臺積電、三星等晶圓代工廠可以有第二個路線選擇，可以更靈活的為客戶生產小批量芯片。甚至，芯片設計廠商可以不依賴于晶圓代工廠來自己生產小批量的芯片。

據了解，佳能目前正在日本東京北部的宇都宮建造20年來第一家新的光刻設備工廠，將于2025年上線。

對于納米壓印技術市場前景，三井藤夫說：“我不認為納米壓印技術會超過EUV，但我相信這將創造新的機會和需求。我們已經接到了很多客戶的咨詢。”

納米壓印設備無法出口到中國

受美國及荷蘭出臺對于先進半導體設備的出口管制影響，國內業界對于佳能最新推出基于納米壓印技術的芯片制造設備可以繞過EUV生產5nm充滿了興趣，認為這可能會是一條能夠繞過美國限制制造更先進制程芯片的路徑。

雖然在今年7月日本實施了新的半導體出口管制措施，限制了可以被用于先進制程的浸沒式光刻機的出口，其中似乎并未新增對于限制基于納米壓印技術的光刻機的出口。

但是事實上，芯智訊查閱日本的出口管制清單，當中就有限制“可實現45nm以下線寬的壓印光刻裝置”。

佳能CEO三井藤夫也在最新的采訪中表示，佳能可能無法將這些（基于納米壓印技術的）芯片制造設備出口到中國。“我的理解是，任何超過14nm技術的出口都是被禁止的，所以我認為我們無法銷售。”

日本經濟省的一名官員表示，他無法評論出口限制將如何影響特定的公司或產品。

編輯：芯智訊-浪客劍