半導體圈大動作！8家上市公司擬入股銳立平芯 FD-SOI能否開辟新賽道？

   1月9日訊，隨著下游市場需求爆發、成本優勢顯現，FD-SOI工藝技術逐漸受到市場的青睞。

　　江豐電子、富創精密等公司近日宣布擬認購中科同芯的合伙份額，用于投資基于FD-SOI工藝的國產晶圓制造廠商銳立平芯的股權。中科同芯總規模將達4.5億元，投資人囊括概倫電子、北方華創、安集科技等8家半導體產業鏈上市公司。

　　值得關注的是，銳立平芯發力FD-SOI工藝技術，不僅豐富了國內晶圓制造技術路線，而且未來有望繞開EUV發力先進制程邏輯芯片制造，幫助本土半導體開辟新賽道。

　　豐富國內晶圓制造技術路線

　　近日，江豐電子和富創精密先后發布了對外投資公告，擬分別出資3000萬元、8000萬元認購廣州中科同芯半導體技術合伙企業(以下稱“中科同芯”)的合伙份額。同時參與此次認購的，還有北方華創、江豐同創半導體產業基金。

　　此外，上述4家投資者增資入股之前，已有中科齊芯、安集科技、北京君正、南大光電、芯源微、概倫電子等7家投資機構。本次交易完成后，中科同芯總規模將達4.5億元，投資人囊括8家半導體產業鏈上市公司。

　　據了解，中科同芯系投資平臺，僅投資于銳立平芯微電子(廣州)有限責任公司(以下稱“銳立平芯”)的股權。銳立平芯是采用FD-SOI(即全耗盡型絕緣體上硅技術)平面工藝的先進制程晶圓代工廠，本輪融資主要用于產能建設及工藝研發。

　　“本次投資中科同芯，主要是希望進一步完善產業布局。公司未來會根據它的需求做相應的研發，提供靶材和零部件等材料。”江豐電子相關負責人向《科創板日報》記者表示，大家比較認可這個項目，本次參與認購的投資機構屬于第二批。

　　資料顯示，銳立平芯成立于2022年3月17日，聚焦打造FD-SOI工藝平臺。截至發稿日，廣州灣區半導體產業集團、澳芯集成分別持股55.56%、44.44%，由國家科技重大專項02專項技術總師、中國半導體協會集成電路分會理事長、原中國科學院微電子研究所所長葉甜春擔任公司董事長兼總經理。

　　“從技術性能本身來講，FD-SOI技術系統非常適合現在，尤其適用于移動通信、IOT、汽車電子等市場領域。國內廠商此時發力FD-SOI技術，不僅能夠滿足下游市場需求，而且進一步豐富國內技術路線。”華芯金通投資基金創始合伙人吳全告訴記者，半導體產業鏈公司入股、相互協同，有利于助推國內FD-SOI生態體系建設。

　　據悉，FD-SOI和FinFET(即鰭式場效應晶體管)都是晶圓制造領域關鍵的先進工藝技術，但由于多種原因，FinFET占據目前市場主流位置。國際上僅格芯、三星、意法半導體等龍頭廠商采用雙技術路線方案，國內幾乎無一家晶圓廠去發展FD-SOI工藝。

　　中芯國際相關人士向記者坦言，目前公司沒有FD-SOI技術。“晶圓制造技術架構體系有著較高的技術壁壘，廠商面臨著復雜程度、高研發投入及未來走向等多重因素考驗，多數廠商扎根一個架構體系。”

　　繞開EUV發力先進制程

　　上述知情人士告訴者，廣州市政府對FD-SOI技術寄予厚望，期望將銳立平芯打造成世界級FD-SOI集成電路制造基地，助力粵港澳大灣區建設“國家集成電路第三極”。

　　據悉，葉甜春目前同時兼任廣東省大灣區集成電路與系統應用研究院院長(以下稱“研究院”)，該研究院由中國科學院集成電路創新研究院與廣州高新技術產業開發區管理委員會共同發起成立，屬于省級事業單位。

　　研究院聚焦FD-SOI核心關鍵技術，構建以FD-SOI工藝、器件、材料、EDA技術為核心的FD-SOI創新生態體系。研發方向上則覆蓋2X納米FD-SOI產業技術、1X納米及以下FDS-OI先導工藝、基于FD-SOI工藝的量子計算等領域的研究。

　　值得關注的是，隨著后28nm時代的來臨，格芯、意法半導體等廠商正加大FD-SOI技術領域的投入力度，再度與FinFET相競爭。

　　2022年4月，CEA(即法國原子能和替代能源委員會)、Soitec、格芯及意法半導體計劃聯合制定行業的下一代FD-SOI技術發展規劃，促進FD-SOI在汽車、物聯網和移動應用中的應用。意法半導體甚至重啟了向1X納米工藝節點的進軍，在先進制程方面明確選擇了FD-SOI技術路線為突破重點。

　　對國內而言，葉甜春曾對外直言，FD-SOI工藝可幫助本土半導體開辟新賽道，未來5-10年FD-SOI技術將代替目前主流的FinFET技術。尤其是先進光刻技術被禁后，FD-SOI技術路線能夠幫助國內廠商未來繞開EUV發力先進制程邏輯芯片制造。

　　“在14nm被國外限制的情況下，國產廠商可以通過22nm FD-SOI工藝來升級或替代相關技術需求。且FD-SOI在設計和制造成本上具有優勢，開發周期更短。”韋豪創芯高級投資經理方亮向記者解釋稱，22nm FD-SOI工藝比14nm FinFET制程簡單，光罩數減少12%左右，光罩成本減少35%，可以抵消SOI晶圓帶來的成本增加。

　　此外，葉甜春曾提到，國產平面工藝設備自主率高達70%，有能力支撐FD-SOI技術開發。“如果只建工廠，FD-SOI做不起來。需要既把工廠建起來，同時建立起相應的集成電路設計環境、引導新一批設計公司，引導國內的裝備企業、材料企業和零部件企業集聚，打造基于FD-SOI的全生態上下游，努力在集成電路領域實現科技自立自強。如果以產品發布為標志，在大家的共同努力下，預計4年形成基本的產業規模。”