ASML,深陷中美科技爭端,下一步如何走?

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前言
臺灣積體電路制造(臺積電,TSMC)于12月6日在美國亞利桑那州舉辦移機儀式。“蘋果以前必須從海外采購先進的芯片”,而如今“美國制未來”。美國大量吸引如TSMC一類的企業在美建廠也是為了加強自身的科技競爭能力,在與歐盟的科技之爭中取得領先地位。
荷蘭的ASML公司生產尖端芯片制造機,這種機器制造出的芯片能夠被廣泛的應用于軍事和先進的人工智能領域。美國阻止ASML將機器出口給中國,以阻止中國發展自身的半導體芯片制造能力。
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ASML的關鍵芯片角色
對于光刻機而言,最核心的技術就是光源,光刻機按光源技術進步次序可分為紫外光(UV)、深紫外光(DUV)、極紫外光(EUV)三大類。
ASML壟斷制造生產的就是極紫外 (EUV) 光刻機,采用的是美國研發提供的13.5nm極紫外光源為工作波長的投影光刻技術,此項技術暫時未能被突破。對比一下,日本的佳能、尼康和中國上海微電子也僅能制造出DUV光刻機。
由于荷蘭的各種出口限制,ASML自2019年以來一直無法順利向中國運送EUV 機器。而公司發言人表示,ASML預計“新的出口管制措施對ASML2023年整體出貨計劃的直接影響有限。”公司更愿意與世界第二大經濟體合作而不是相制衡。

ASML 的 TWINSCAN NXE:3400B 半導體光刻工具的最終組裝
來源:Reuters
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美荷會談
據路透社報道,2020 年,在美國政府的廣泛游說下,荷蘭政府撤銷了 ASML向中國出口EUV機器的許可。美國試圖切斷對中國公司的關鍵技術供應。如中國電信巨頭華為面臨出口限制,導致其無法獲得制造智能手機和其他產品所需的芯片,從而削弱了其移動業務。美國政府還從美國科技部門出口黑名單中剔除掉了中國最大的芯片制造商中芯國際,以起到芯片進出口限制的作用。
今年10月,美國商務部工業與安全局出臺了全面規定,要求企業如果想向中國出售某些先進計算半導體或相關制造設備,就必須申請許可證。在這些規定出臺后,ASML開始要求其美國員工停止為中國客戶提供服務。

荷蘭首相馬克·呂特與美國總統喬·拜登會談
來源:CNBC
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荷蘭渴望突破美國規則
“既然美國政府已經對美國公司實施了單方面的最終用途控制,那么如果中國能夠從ASML或Tokyo Electron(日本)獲得這些機器,那么從他們的角度來看,這些控制將是徒勞的”,高科技公司董事長Pranay Kotasthane 說道。他補充道,“因此,美國政府希望通過讓荷蘭、韓國和日本等國家參與進來,將這些單邊控制轉變為多邊控制。”而這一評論荷蘭和美方都沒有做出聲明。
“顯然我們正在權衡我們自己的利益,我們的國家安全利益是最重要的,顯然我們有經濟利益,正如你所理解的那樣,地緣政治因素也一直在發揮作用,”荷蘭外貿和發展合作部長上周表示。她同時還補充,中國是“一個重要的貿易伙伴”。
總 結
極紫外光源被行業賦予拯救摩爾定律的使命,我國對極紫外光刻技術的探索從未停止。ASML作為壟斷這門技術的公司,深陷中美科技的爭端之中,未來將何去何從,讓我們拭目以待。
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