敘述了在微工程研究領域有代表性的微機電系統(MEMS)技術特點，介紹了MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀、MEMS加速度計等典型的MEMS產品，概述了MEMS基礎理論研究進展以及國外對MEMS陀螺儀、MEMS加速度計的研究和發展現狀，分析了MEMS技術在飛航導彈等飛行器上的應用優勢。
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優勢 應用 發展 技術 MEMS
a.可提高信噪比。在同一個芯片上進行信號傳輸前可放大信號以提高信號水平，減小干擾和傳輸的噪聲，特別是同一芯片上進行A/D轉換時，更能改善信噪比。b.可改善傳感器悸性能。因這種傳感器集成了敏感元件、放大電路和
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優點 主要 傳感器 MEMS
前言:MEMS是Micro Electro Mechanical System，的英文縮寫，也叫微電子機械系統.它的出現可追溯到19世紀.20世紀60年代美國人首先研發出了結晶異方向腐蝕、陽極鍵合等早期的基本微加工技術。到了70年代，也是美國人提
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應用 技術 MEMS
根據信息及分析公司IHS(紐約證券交易所：IHS)的IHS iSuppli MEMS專題報告，中國手機和平板電腦制造商在2012年使他們的微電子機械系統(MEMS)運動傳感器采購份額增加了一倍，顯著地反映了這些公司在全球市場中的不斷上升。
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IHS MEMS 手機 平板電腦
根據信息及分析公司IHS(紐約證券交易所：IHS)的IHS iSuppli MEMS高價值MEMS市場追蹤報告，高價值微電子機械系統(MEMS)市場去年增長疲軟，其主要原因是主流醫療電子和工業部門疲軟。
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IHS 機械系統 MEMS
從可以記錄心率的智能手表，到可以追蹤身體活動的智能臂帶，可佩戴電子產品與健康監控設備正在日益吸引關注自身健康的消費者興趣，用于這些產品的MEMS傳感器的出貨量將在短短五年內增長三倍以上。
據IHS iSuppli公司，從2000萬美元左右的穩定基礎開始起步，預計可佩戴電子產品與健康監控設備中的MEMS運動傳感器營業收入今年將增至3100萬美元，2014年上升33%至4130萬美元。2015年將進一步增長47%至6080萬美元。
未來五年中，最大增幅將出現在2016年，屆時年度營業收入將跳增
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MEMS 運動傳感器
據IHS iSuppli公司的MEMS專題報告，蘋果與三星電子是2012年手機與平板電腦MEMS動作傳感器的最大買家，合計控制了將近五分之三的市場，因此在與供應商談判價格時握有巨大的籌碼。
在采購動作傳感器方面，蘋果與三星都遠遠領先于諾基亞、LG電子、HTC、索尼和摩托羅拉等對手。蘋果這方面的支出是4.224億美元，市場份額是31%。三星的支出是3.408億美元，市場份額是25%。這兩家合計占有56%的份額，合計支出達到7.632億美元，讓其它廠商望塵莫及。蘋果與三星以外的買家包括中國的灰市手機
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三星 MEMS
橫跨多重電子應用領域、全球領先的半導體供應商，全球最大的運動、環境、音頻和微射流MEMS(微機電系統)技術供應商意法半導體(STMicroelectronics，簡稱ST;紐約證券交易所代碼：STM)宣布，其美國子公司向美國國際貿易委員會(ITC)起訴，指控InvenSense所有MEMS產品以及其兩個客戶Black and Decker與Roku的產品侵犯意法半導體的五項專利權，請求國際貿易委員會對此案展開調查并發布禁止令，限制InvenSense的陀螺儀和加速度計等侵權產品及其客戶的含有Inven
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ST MEMS
擁有模擬和數字領域的優勢技術、提供領先的混合信號半導體解決方案的供應商 IDT?公司 (Integrated Device Technology, Inc.; NASDAQ: IDTI) 日前推出業界首款差異化MEMS振蕩器，具有100飛秒(fs)典型相位抖動性能和集成的頻率裕量設定能力。
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IDT 振蕩器 MEMS
盡管去年不利的宏觀經濟環境沖擊了全球半導體產業，但中國MEMS市場卻逆勢增長了19%，達到19億美元。消費者熱捧裝備MEMS器件的移動產品，尤其是智能手機與媒體平板。
據IHS iSuppli公司中國研究部門的報告，今年中國MEMS采購金額將增長到23億美元，2016年達到30億美元，復合年度增長率達13.4%。圖7所示為IHS對于中國MEMS傳感器消費情況的預測。
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圖7：中國MEMS消費預測 (以百萬美元計)
智能手機、平板電腦與其它移動設備銷售暢旺，正
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MEMS 智能手機
MEMS(微型機電系統)麥克風外形較小，與目前廣泛采用的駐極體麥克風相比，具備更強的耐熱、抗振和防射頻干擾性能...
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MEMS 麥克風 聲學性能
多傳感器集成化在現階段對于MEMS制造工藝依然是不小的挑戰。近年來以陀螺儀、加速度計、壓力傳感器為代表的MEMS器件得到了快速發展，隨著生活應用的不斷豐富與提高，也需要更多的傳感感測功能，多集成度的MEMS器件逐漸受到青睞，眾多廠商推出六軸/九軸/十軸的MEMS器件。究竟在未來多集成度MEMS器件和單純MEMS器件哪個會是主流呢?
MCU+Sensor組合VS單純MEMS傳感器模塊
智能手機與平板是驅動今年增長的關鍵力量，這些產品中很多已經具有3軸加速計、3軸陀螺儀、麥克風、立體聲波濾波器
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傳感器 MEMS
據IHSiSuppliMEMS特別研究報告，今年用于手機和平板的MEMS運動傳感器收入將達15億美元，同比2012年的13億美元增長13%。雖然相比于2012年21%、2011年85%的增長有些下滑，但和大多數電子元件不溫不火的增長比起來，這仍然是一股強勁的增長。
2013年之后，還將有兩年市場會以兩位數增長，之后開始放緩，到2016年，市場收入將達22.1億美元。屆時，將有超過60億的運動傳感器用于手機和平板，多于2011年的16億。
IHSMEMS與傳感器首席高級分析師Jé
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智能手機 傳感器 MEMS
Tessera Technologies, Inc.(納斯達克上市代碼：TSRA)的全資子公司，DigitalOptics 公司(DigitalOptics 或 DOCTM)，日前宣布推出用于智能手機的微機電系統(MEMS)自動對焦攝像頭模塊 mems|cam?。
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DigitalOptics 嵌入式 mems|cam DOC
1引言微機電系統（MEMS）是指可批量制作的，集微型機構、微型傳感器、微型執行器以及信號處理和控制電路、直至...
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MEMS 微針陣列 生物醫學
mems(微電子機械系統)介紹
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