美泰電子RF MEMS 器件

美泰電子科技有限公司

美泰電子科技有限公司是中國MEMS行業協會理事長單位。專門致力于MEMS（微電子機械系統）器件與系統的研發、生產和銷售。是國內最大的MEMS高端核心芯片、器件和系統產品供應商，中國MEMS技術領導者。主要產品有MEMS慣性器件與系統、MEMS測試測量傳感器、MEMS壓力傳感器芯片、汽車MEMS傳感器、射頻（RF）MEMS器件、光MEMS器件等。      
    

公司擁有國際先進水平的6英寸MEMS工藝線和世界領先的產品測試標定設備，是國家高新技術企業、科技部重大科學儀器專項資助單位。

特點

硅腔體結構，體積超小
高功率容量

50Ω微帶共面波導輸出，鍵合使用

頻率：12~40GHz
MEMS工藝，精度高，一致性好
可按要求加工定制
 

環境參數

工作溫度：-55~+85°C

儲存溫度：-55~+125°C

典型應用

雷達、航天航空、微波通信

特點：

硅腔體結構，體積超小
高功率容量

50Ω微帶/共面波導輸出，鍵合使用
頻率:12～40GHz

MEMS工藝，精度高，一致性好
可按要求加工定制

環境參數
工作溫度:-55+85°C

儲存溫度:-55+125°C

典型應用
雷達、航天航空，微波通信 

特點：
硅基MEMS工藝，體積小、重量輕

頻率:2～50GHz

高性能、全屏廠、抗干擾、微波性能好

裸芯片，50Ω共面波導輸出，鍵合使用

帶通、帶阻、低通、高通
指標一致性好，適合批產

環境參數
工作溫度:-55~+85°C
貯存溫度:-55～+125°C

平均功率：≤3W（連續波）

典型應用
雷達、航天航空，電子系統

特點：

硅基MEMS微納米技術
命體積小、成本低
加厚介質膜工藝，防靜電能力強、可靠性高

可鍵合、表貼使用，滿足用戶不同安裝要求
加工周期短，部分取代LTCC產品
較MMIC產品有更高Q值 

環境參數
工作溫度:-55～+85°C
貯存溫度:-55～+125°C
平均功率:1Wmax@25°C
 
電性能規范
中心頻率:0.5-20GHz
健合型微集成LC法
1db分數帶寬:10-100%
VSWR: 16.1 :1
特性阻抗:50Ω

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