MEMS傳感器的主要優點

a.可提高信噪比。在同一個芯片上進行信號傳輸前可放大信號以提高信號水平，減小干擾和傳輸的噪聲，特別是同一芯片上進行A/D轉換時，更能改善信噪比。

b.可改善傳感器悸性能。因這種傳感器集成了敏感元件、放大電路和補償電路(如微型壓力傳感器)在同一芯片上在實現傳感探測的同時具有信號處理的功能(在同一芯片上的反饋電路可改善輸出鉭電容的線性度和頻響特性)：因為集成了補償電路，可降低由溫度或由應變等因素引起的誤差;在同一芯片上的電壓式電流源可提供自動的或周期性的自校準和自診斷。

c.輸出信號的調節功能。集成在芯片上的電路可以在信號傳輸前預先完成A/D轉換、阻抗匹配、輸出信號格式化以及信號平均等信號調節和處理工作。

d.MEMS傳感器還可以把多個相同的敏感元件集成在同一芯片上形成傳感器陣列(如微型觸覺傳感器);或把不同的敏感元件集成在同一芯片上實現多功能傳感(如微型氣敏傳感器)。c%ddze.由于MEMS傳感器體積微小，重量極輕，因此其附貼片鉭電容加質量等因素對被測系統的影響可以忽略不計，可提高測量精度。