極紫外光(EUV)微影設備無疑是半導體制程推向3nm的重大利器。這項每臺要價高達逾近億美元的尖端設備，由荷商ASML獨家生產供應，目前主要買家全球僅臺積電、三星、英特爾及格羅方德等大廠為主。
EUV設備賣價極高，原因是開發成本高，因此早期ASML為了分攤開發風險，還特別邀請臺積電、三星和英特爾三大廠入股，但隨著開發完成，臺積電后來全數出脫艾司摩爾股票，也獲利豐碩。
有別于過去半導體采用浸潤式曝光機，是在光源與晶圓中間加入水的原理，使波長縮短到193/132nm的微影技術，EUV微影設備是利
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臺積電 3nm
人工智能(AI)成為下世代科技發展重點，工研院 IEK 計劃副組長楊瑞臨表示，AI 終端載具數量將遠小于手機，半導體產業挑戰恐將增大，芯片業者應朝系統與服務領域發展。
工研院產業經濟與趨勢研究中心(IEK)計劃副組長楊瑞臨指出，人工智能大致可分為數據收集與決策兩部分;其中，數據收集方面，因需要大量運算，應在云端進行。
決策方面，目前各國仍以云端發展為主，楊瑞臨表示，未來決策能否改由終端執行，是各界視為臺灣發展 AI 的一大機會。
只是無人機、自駕車、機器人與虛擬現實(VR)/擴增實境
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AI 3nm
近期因限電危機，傳出臺積電3nm廠可能轉往美國投資，臺灣“行政院長”林全表示，「臺積電在臺灣投資3nm廠是必然的」，現在的問題只是落腳哪里。
林全表示，包括臺南、高雄都拚命爭取臺積3nm廠落腳。 相較于其他企業也有很好的投資案，但地方政府就沒有這么大的回響，或許和企業形象、經營成功度、員工待遇都有很大關系。
外界質疑政府只關愛臺積電一家公司，林全反駁，政府對企業是「一視同仁的，不會有差別待遇」。 他以臺塑為例表示，臺塑遇到最大的挫折就是環評被退回，因此他去年上任后就
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臺積電 3nm
臺積電13日的法說會中，針對近期兩大熱門議題：日本半導體大廠東芝NAND Flash部門競標案、先進制程3奈米晶圓廠的選址，一一對外界做最新的回覆。
自從臺積電董事長張忠謀公開表示，考慮參與日本半導體大廠東芝(Toshiba)競標案后，臺積電對該案的態度備受市場關注，尤其參與競標者又是鴻海、SK海力士(SK Hynix)、威騰(WD)等全球大廠。
臺積電13日指出，內部確實評估過該案，但最后決定不去參與競標，主要是兩大原因，第一，內部認為這種標準型記憶體的商業模式和邏輯產業很不一樣，第二是
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臺積電 3nm
晶圓代工龍頭臺積電正式將赴美國設立晶圓廠列入選項，且目標直指最先進且投資金額高達5000億元的3納米制程。臺灣地區媒體報道稱，臺積電3納米出走將撼動全球半導體江山。
擔憂臺灣代工基地空氣不佳、電力不穩
臺媒引述指出，臺積電政策轉向，主因是南科高雄園區路竹基地，環評作業完成時間可能無法配合臺積電需求，加上空氣品質及臺灣電力后續穩定不佳，也是干擾設廠的變數。
臺積電表示，南科高雄園區路竹基地也未排除在外，持續觀察，選地尚未決定。至于電力問題，臺積電重申，考慮設廠地點，水、電、土地、人才，
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英特爾 3nm
臺科技部長陳良基15日接受經濟日報專訪時表示,他上任后主動拜會臺積電董事長張忠謀等科技大老,對臺積電3納米計劃需求,政府將全力協助,也會特別關注半導體產業,并從近程及長期著手協助產業升級。
對于空污總量管制等環保要求,會否影響臺積電3納米進程,陳良基說:「我比較審慎樂觀。我有看到臺積電對3納米需求,水電、土地、空污等因應措施,并沒有不能解決的悲觀。」他并預言,以人工智能(AI)技術為主的沛星互動科技(Appier),十年后有可能成為另一個「臺積電」。
陳良基說,他跟張忠謀常碰面,上任后
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臺積電 3nm
在剛剛閉幕的2016年ITF(IMEC全球科技論壇)上，世界領先的獨立納米技術研究機構——IMEC的首席執行官Luc van den Hove指出，“scaling(尺寸縮小)還會繼續，我不僅相信它將會繼續，而且我認為它不得不繼續。”
他認為，目前從技術層面來說，FINFET、Lateral Nanowire(橫向納米線) 和Vertical Nanowire(縱向納米線)已經可以幫我們持續推進到3nm的制程節點。EUV光刻技術將是未來的唯一選擇。
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3nm 半導體
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