中科信：搶占IC裝備業制高點

　　為解決真空腔體在設計加工中零部件繁雜、精度要求高、性能要求無法達到又難以檢測出問題所在這一難題，攻關團隊找到了一家全球真空閥門的領先制造者，一起聯手根據具體的性能參數和技術指標要求，逐步分解細化，將構想變為草圖，將草圖轉為3D圖，將3D圖變成工程圖，最終完成了系統的設計定型。模擬分析計算表明，新的設計化繁為簡、化零為整，加強了零部件的整體性，減少了加工、裝配與使用中“意外”發生的可能性，縮短了加工制作周期，節省了制造成本。更重要的是，它完全滿足了離子注入機的高性能要求。

　　為滿足300mm晶片尺寸在無損傳送的同時實現傳輸效率的提升，技術團隊打破常規思維的束縛，摒棄原有單個機械手獨立作業的模式，借鑒大生產線流水與專業化分工并協同作業的思路，采用全新的雙機械手協同、多工位流水式循環作業模式，簡化并固定單個機械手動作，實現機械手間的明確分工與有序作業。同時，為縮減靶室及片庫腔體的結構空間，攻關小組設計了全新的單定位系統，并將其從主控制器中分離，從而提高晶片傳送系統傳輸效率近一倍。

　　為提高90nm-65nm大角度離子注入機項目的可靠性，項目研發的軟件設計師們結合用戶反饋意見與多年的售后記錄，選擇了有限層次狀態機的設計模式，面向過程、面向對象、面向組件進行分層模型設計，將整個軟件系統劃分為若干個相互獨立的層次進行描述，層與層之間通過事先約定的接口相互通信。聯合程序設計師、用戶、系統工程師三方力量，在各層次的子狀態機中窮舉了設備運行中可能發生的各種狀態。根據設備運行方式，實現問題、診斷與解決方案的有效集合與鏈接，保證在發生故障時用戶可以快速定位、自行診斷并盡快恢復，提高了系統的適用性和維護性。可使用戶與非程序工程師們跨越專業界限，直接參與程序的設計與優化，在大大減輕售后服務人員工作負擔的同時，又提高了設備的運行與維護效率，保證了設備的高可靠性。

　　2008 年技術團隊完成了系統結構設計和各分系統的詳細設計，同時針對高精度、寬量程束流和劑量均勻性測量技術、周期實時可調波形發生技術、精密運動控制技術等進行了技術創新。在先后攻克了90nm-65nm大角度離子注入機離子光學設計技術、重離子長壽命離子源技術等多項關鍵技術后，目前技術團隊又順利完成了零部件裝配、分系統集成、整機系統集成工作，進入到整機聯調、性能測試階段。聯調完成后，項目組將迅速開展適應90nm-65nm大角度中束流離子注入技術、工藝一致性、穩定性的測試與驗證，為年底設備成功上線奠定堅實的基礎。

　　任重道遠

　　中科信率先啟動的90nm-65nm大角度離子注入機項目無疑為“十一五”規劃開了好頭。雖然中科信已開展了12英寸90nm大角度離子注入機的研制工作，整機研發初具規模，但根據90nm-65nm離子注入的工藝需求，還沒有形成產品系列化。

　　面對國外技術的飛速發展和新工藝標準的不斷推出，國產裝備始終難以進行工藝整合，面臨著受國外核心技術限制的困境。為了保障“十一五”規劃的順利實施，使國產設備真正形成強大的市場競爭力，中科信人未雨綢繆，提前進行了謀劃，開始布局滿足65nm-45nm技術需求的低能量大束流離子注入機項目的研發。他們著眼全系列離子注入機的裝備配套，重點開展65nm-45nm低能量大束流離子注入機裝備的研發，攻克65nm-45nm超淺結制程技術，與大角度離子注入機形成工藝配套，實現離子注入成套工藝的集成，為我國具有自主知識產權的全系列離子注入機的產業化打下堅實的技術基礎。

　　他們多方建議國家盡快啟動《65nm大束流離子注入機研發與產業化》與《65nm閃光快速退火爐研發與產業化》項目，完善離子注入與快速退火產品的系列化，使這兩種不同類型的離子注入機形成工藝互補，實現我國自主創新的離子注入機產品的系列化和離子注入工藝的成套化，以滿足12英寸65nm集成電路生產線集成交鑰匙工程的要求。

　　對于未來，中科信充滿信心：2012年，建立起適應90nm-65nm大角度離子注入機技術及摻雜工藝的國際化離子注入機工藝研發平臺，完成90nm- 65nm大角度離子注入機整機研制，實現生產線工藝驗證與考核，形成自主知識產權體系，滿足90nm-65nm大角度離子注入機整機制造工藝的需求。研究國產化方案和零部件供應鏈配套等，建設 90nm-65nm大角度離子注入機整機制造的產業化平臺，實現離子注入機裝備的產業化。到2013年，形成20 臺大角度離子注入機的生產能力，造就一支掌握高端離子注入機關鍵技術的專業人才隊伍，大幅提升我國裝備制造業的自主創新能力，使我國集成電路制造裝備業實現重大的技術跨越，在核心技術領域實現重大突破，整體技術領先國際先進水平。