中科信：搶占IC裝備業制高點

　　夏日的早晨，微風拂面，鳥兒輕鳴。北京中科信電子裝備有限公司(簡稱中科信)里一派繁忙景象，來來往往的員工或趕往廠房或直奔辦公大樓，為“十一五”國家科技重大專項———90nm-65nm大角度離子注入機樣機系統集成緊張而有序地忙碌著。

　　沖破封鎖

　　“工欲善其事，必先利其器”，2000多年前孔子話語中蘊含的深意同樣適用于當今中國的半導體業：沒有先進的電子制造設備，就不可能有自主先進的芯片產品;沒有先進的設備做支撐，中國的半導體業發展再快，也只是建立在沙漠上的高樓。

　　作為IC制造前道工藝設備，離子注入機技術復雜、涉及面廣，融光、機、電、計算機、材料、熱學、力學等各種專業技術為一體。國際上，離子注入技術主要集中在美國，著名的離子注入裝備生產商有美國Axcelis公司、Varian公司等。他們擁有最先進的離子注入機技術，研制的各種類型的離子注入機占據了大部分國際市場。

　　以美國為首的西方發達國家始終把IC設備列為對我國實行嚴格限制的技術領域之一，實行嚴密封鎖且禁止向我國出口先進的離子注入設備，不讓先進的設備和技術為中國人所掌握，以永遠維持自己的經濟和軍事霸權地位。

　　中科信作為國內唯一從事離子注入機與快速退火成套裝備的研發及產業化的高科技企業，責任重大。企業必須從戰略發展的高度出發，立足于自主創新，整體提升以離子注入機為代表的電子專用裝備制造業核心競爭力，建立起擁有自主知識產權的研發技術平臺，充分掌握有關離子摻雜處理工藝和整機裝備系統集成的先進技術，實現國產離子注入機設備的跨越式發展。

　　“十五”期間，中科信承擔了國家高技術研究發展計劃(863計劃)集成電路制造裝備重大專項———“100nm大角度離子注入機”項目，在不到3年的時間里，他們成功建立了國內一流的離子注入機技術研發及產業化平臺和技術服務體系，完全突破大角度離子注入機的5大系統、6大關鍵技術，有效建立了以專利為核心的知識產權體系，研制出具有自主知識產權的、能夠滿足100nm集成電路工藝要求的8英寸大角度離子注入機商品機，并實現出口。

　　初步具備了8英寸國產大角度離子注入機批量供貨的能力，實現了我國集成電路專用裝備制造水平由原來的6英寸500nm到8英寸100nm的技術水平的五級連跳，為我國離子注入機裝備進一步發展和實現產業化打下了堅實的基礎。

　　項目在圓滿實施后，先后榮獲“第一屆中國半導體創新產品”、“信息產業部2006年度信息產業重大技術發明”、“2007年度北京市科技進步一等獎”、“2007年度中國電子科技集團科技進步特等獎”、“2007年度中國電子學會科技一等獎”等多項殊榮，并成功入選“北京市首批自主創新產品”、“國家首批自主創新產品”目錄。

　　再攀高峰

　　科技之路，永無止境。

　　我國電子信息產業的發展規律是一代裝備、一代工藝、一代器件，裝備水平決定了產品技術水準。中科信人深知肩負的重擔和責任，90nm、65nm乃至45nm的科技難題如一座座的技術高峰，矗立在中科信人面前。他們從國家戰略需要出發，再次請纓承擔“十一五”國家科技重大專項任務。

　　通過國家專項組的權威專家的多次論證和評審，這支團隊整合了全球離子注入技術的優勢資源，出色完成了項目實施方案的立項論證。在國家有關部委的大力支持下，率先開展了12英寸90nm-65nm大角度離子注入機的研發工作。2007年，經過項目技術組專家的多次方案討論，他們最終確定了90nm-65nm大角度離子注入機整機攻關的總體技術路線和實施方案，確定了α機、β機以及商品機等3代機型研發的技術路線，確定了整機功能劃分和模塊構成，完成了5大系統、82個子系統的設計方案。