極大規模集成電路重大專項進入全面實施階段

　　3月26日，國家科技重大專項“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”推進會在科技部召開，科技部部長萬鋼、專項領導小組成員單位的領導出席會議。此次會議的召開標志著該重大專項已經進入全面實施階段。

　　據介紹，“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專項面向全國廣泛征集項目，經過嚴格的篩選及“三評兩審”立項程序，目前擬啟動54個項目，其中，裝備整機15項、成套工藝11項、關鍵材料9項、關鍵技術與零部件11項、前瞻性研究等8項，總投資180多億元。

　　“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專項旨在開發集成電路關鍵制造裝備，掌握具有自主知識產權的成套先進工藝及相關新材料技術，打破我國高端集成電路制造裝備與工藝完全依賴進口的狀況，帶動相關產業的技術提升和結構調整。該重大專項的實施將會在整體上極大地提升我國電子制造業和裝備制造業的創新能力和競爭力。據了解，目前該重大專項已經啟動的項目大多具有較好的產業化基礎和良好的市場發展前景。

　　專家認為，在中央擴大內需十項措施和十大產業調整振興規劃實施之際啟動“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專項，是發揮科技支撐作用，促進經濟平穩較快發展的重大行動，對提高“擴內需、保增長”的科技含量，從根本上實現“調結構、上水平”的目標，推動我國經濟盡快走上創新驅動發展軌道具有重要意義。