潔凈室空氣潔凈度測試及方法

　　（一）空態、靜態測試

　　空態測試：潔凈室已竣工，凈化空氣調節系統已處于正常運行狀態，室內沒有工藝設備和生產人員的情況下邊行測試。

　　靜態測試：潔凈室凈化空氣調節系統已處于正常運行狀態，工藝設備已安裝，室內沒有生產人員的情況下進行測試。

　　（二）動態測試 潔凈室已處于正常生產狀態下進行測試。

　　潔凈室的風量、風速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測，可按一般通用、空氣調節的有關規定執行。

　　三、空態、靜態測試

　　（一）測試前的準備

　　1、應對潔凈室及其凈化空氣調節系統進行徹底清潔。

　　2、采用光散射粒子計數器對高效空氣過濾器進行檢漏測試。首先測定高效空氣過濾器的上風側靜壓箱內（或風管內）粒徑大于或等于0.5微米的塵粒數應為大于或等于30，000粒/升。如若不夠，可引入煙霧，然后開始檢漏。將粒子計數器（或檢漏裝置）的采樣口距離高效空氣過濾器2--3厘米處，可以2～4厘米/秒的速度移動，對高效空氣過濾器整個斷面封頭膠處和安裝框架處進行掃描。

　　當粒子計數器讀數為空氣口大于或等于0.5微米的塵粒超過3粒/分·升（或其穿透率大于0.01‰）即認為該處有明顯滲漏，必須進行堵漏。

　　（二）測試內容

　　1、總送風量、總回風量、新鮮空氣量、排風量等;

　　2、潔凈室壓力值;

　　3、層流潔凈室斷面風速和氣流流向;

　　4、潔凈工作區的潔凈度;

　　5、室內溫度、濕度及其控制能力的調整測試;

　　6、潔凈室內噪聲。

　　（三）潔凈工作區空氣潔凈度的測試方法 對于粒徑大于或等于0.5微米的塵粒計數，宜采用光散射粒子計數法。對于粒徑大于或等于5微米的塵粒計數。也可采用濾膜顯微鏡計數法。光散射粒子計數法：

　　1、光散射粒子計數器采樣量 100級：每次采樣量大于或等于1升。 l，000級-l0，000級：每次采樣量大于或等于0.3升。 100，000級：每次采樣量大于或等于0.1升。 對于100級潔凈室，宜采用大流量粒子計數器進行測試; 如果條件不具備時，可采用每次采樣量不小于1升的粒子計數器。

　　2、采樣注意事項：

　　（1）采樣管必須干凈，連接處嚴禁滲漏。

　　（2）采樣管的長度，應根據儀器的允許長度。當無規定時，不宜大于1.5米。

　　（3）采樣管口的流速，宜與潔凈室斷面平均風速相接近。測試人員應在采樣口的下風側。

　　（4）采樣順序應按含塵濃度從低到高進行。

　　3、測點布置

　　（l）檢測在潔凈工作區內進行。當生產工藝無特殊要求時，取樣高度宜為離地面1米

　　（2）層流潔凈室測點總數不小于20點，測點間距為0.5～2.0米，粒徑大于或等于0.5微米的塵粒數允許有一個點超過。水平層流潔凈室測點僅布置在第一潔凈工作區內。

　　（3）亂流潔凈室可按潔凈面積小于或等于50平方米布置5個測點（附圖2）。 每增加20-50平方米，增加3--5個測點。

　　4、數據整理

　　（1）每個測點的數據整理應在測試儀器穩定運行的條件下連續三次采樣，取其平均值，即為該點的實測數值。

　　（2）對于大于或等于0.5微米的塵粒數確定：層流潔凈室取各測定點最大值，亂流潔凈室取各測點的平均值。

　　（四）正壓值測定應采用精度可達0.01毫米水柱的微壓計。

　　四、動態測試。 在潔凈工作區操作位置選擇有代表性測點的氣流上風向進行，測試方法同空態、靜態測試。