非結(jié)晶氧化物TFT顯示器能否成為現(xiàn)實(shí)

透明非結(jié)晶氧化物半導(dǎo)體（TAOS）作為“后非結(jié)晶硅（Post Amorphous Si）”備受期待。使用TAOS的氧化物半導(dǎo)體TFT顯示器究竟能否成為現(xiàn)實(shí)？在2月23日舉行的“FPD International 2009預(yù)備研討會(huì)”上，非結(jié)晶IGZO（In、Ga、Zn、O）發(fā)明人——東京工業(yè)大學(xué)教授細(xì)野秀雄與與會(huì)者進(jìn)行了交流。

與非結(jié)晶硅相比，TAOS能夠通過大量電流，因此業(yè)界最初考慮將其應(yīng)用于作為電流驅(qū)動(dòng)裝置的有機(jī)EL顯示器所使用的底板中。不過，有機(jī)EL顯示器要達(dá)到實(shí)用水平，“與當(dāng)初的設(shè)想相比，還需等上更長的時(shí)間”（細(xì)野）。細(xì)野表示，除了有機(jī)EL以外，TAOS還有望實(shí)現(xiàn)其他應(yīng)用。

細(xì)野列舉了兩例充分利用TAOS特點(diǎn)的顯示器應(yīng)用實(shí)例。一是在彩色電子紙領(lǐng)域中的應(yīng)用。使用TAOS，便可在彩色濾光片上直接形成TFT陣列，省去使彩色濾光片與TFT對(duì)準(zhǔn)位置的麻煩。凸版印刷正在開發(fā)采用這一概念的彩色電子紙。

另一個(gè)是在液晶顯示中的應(yīng)用。液晶顯示屏支持120Hz驅(qū)動(dòng)及240Hz驅(qū)動(dòng)已經(jīng)成為必備條件，并且朝著超越全高清向4K×2K及8K×4K的多像素化發(fā)展，這時(shí)100英寸級(jí)大屏幕液晶再由非結(jié)晶Si-TFT來驅(qū)動(dòng)就會(huì)變得很困難。此時(shí)TAOS就派上了用場(chǎng)。而且，與非結(jié)晶硅不同，因堿離子混入而影響特性的情況較少，因此可使用廉價(jià)的鈉鈣玻璃作為底板材料。至于鈉鈣玻璃的熱收縮問題，使用在彩色濾光片上直接形成TFT陣列的上述技術(shù)即可避免。

盡管有如此豐富的應(yīng)用提案，但Oana咨詢公司的小穴保久根據(jù)其在非結(jié)晶硅TFT液晶技術(shù)等領(lǐng)域的經(jīng)驗(yàn)指出，“要培育TAOS并使之取得飛躍，還有一些事情必須要做”。“在材料、裝置乃至應(yīng)用領(lǐng)域，建立起包括產(chǎn)官學(xué)在內(nèi)的雄厚基礎(chǔ)，形成合作機(jī)制將十分重要”（小穴）。因此，小穴指出，“說到使用TAOS的產(chǎn)品這一‘夢(mèng)想’，眼下要意識(shí)到的是將所有領(lǐng)域的研究人員吸引到這一看似不賺錢的市場(chǎng)中來”。