西電廣研團隊攻克1200V以上增強型氮化鎵電力電子芯片量產技術

7月12日消息，近日，西安電子科技大學廣州研究院第三代半導體創新中心郝躍院士、張進成教授課題組李祥東團隊在藍寶石基增強型e-GaN電力電子芯片量產技術研發方面取得突破性進展。

研發成果6英寸增強型e-GaN電力電子芯片以“p-GaN Gate HEMTs on 6 Inch Sapphire by CMOSCompatible Process: A Promising Game Changer for Power Electronics”為題發表在高水平行業期刊IEEE Electron Device Letters上，并入選封面highlight論文。

西電廣州研究院與廣東致能科技公司聯合攻克了≥1200V超薄GaN緩沖層外延、p-GaN柵HEMTs設計與制造、可靠性加固、高硬度材料封測等整套量產技術，成功開發出閾值電壓超過2V、耐壓達3000V的6英寸藍寶石基增強型e-GaNHEMTs晶圓，展示了替代中高壓硅IGBT和SiC MOSFET的巨大潛力。

在該項目的研究中，研究團隊還成功研發了8英寸GaN電力電子芯片，首次證明了8英寸藍寶石基GaN HEMTs晶圓量產的可行性，并打破了傳統GaN技術難以同時兼顧大尺寸、高耐壓、低成本的國際難題，將有望推動≥1200 V中高壓氮化鎵電力電子技術實現變革。