芯源微廣州子公司光刻膠泵及高純供液系統產業化項目開工

4月25日，沈陽芯源微電子設備股份有限公司（以下簡稱“芯源微”）廣州子公司——廣州芯知科技有限公司半導體設備光刻膠泵及高純供液系統研發及產業化項目開工儀式在廣州舉行。

據官網介紹，芯源微成立于2002年，是由中科院沈陽自動化研究所發起創建的國家高新技術企業，專業從事半導體生產設備的研發、生產、銷售與服務，致力于提供半導體裝備與工藝整體解決方案。

芯源微所開發的涂膠機、顯影機、噴膠機、去膠機、濕法刻蝕機、單片清洗機等產品，已形成完整的技術體系和豐富的產品系列，產品適應不同工藝等級的客戶要求，廣泛應用于半導體生產、高端封裝、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等領域。可滿足300mm前道制程及300mm先進封裝厚膠工藝制程。

芯源微于2019年12月16日在上交所科創板上市。公司總部位于沈陽市渾南區，并在上海臨港設有全資子公司，總部占地4萬平米，擁有集成電路工藝開發和檢測實驗室以及半導體設備生產組裝車間。

此前3月19日，芯源微上海臨港廠區正式竣工投產。資料顯示，上海芯源微企業發展有限公司成立于2021年，是芯源微的全資子公司。上海芯源微主要開展28nm及以下高端工藝技術節點的集成電路光刻工藝涂膠顯影設備、化學清洗設備及其核心零部件研發及產業化，

2022年，上海芯源微承擔建設的“芯源微臨港研發及產業化”項目主體工程在臨港新片區重裝備產業區全面開工，園區占地45畝、規劃總建筑面積約5.4萬平方米，將于2023年第四季度竣工，建成后將具備較強的國際先進水平半導體設備研發能力。