先鋒半導體實現刻蝕機核心部件國產化，配套臺積電全球首條5nm產線

據泰州日報報道，靖江先鋒半導體科技有限公司實現了大規格集成電路晶圓刻蝕機核心部件國產化，并將配套全球首條5納米芯片生產線。

報道指出，先鋒半導體公司總經理游利介紹，噴淋盤是芯片制造設備刻蝕機的主要部件，先鋒半導體產品將用于中微半導體公司生產的5納米刻蝕機，并應用于臺積電全球首條5納米制程生產線。

資料顯示，先鋒半導體成立于2008年，是一家從事半導體器件、集成電路專用設備及零部件、航空和高端裝備精密部件研發、制造、銷售、服務于一體的國家高新技術企業，產品主要應用在刻蝕機、鍍膜機等集成電路裝備，供應給國內外半導體行業OEM廠商，是中國半導體行業精密零部件的主要制造商。

2008年成立之初，先鋒半導體便與中國半導體設備知名廠商中微半導體展開合作。2018年底，中微半導體突破歐美封鎖，成功研發出5納米芯片刻蝕機，其中的主要部件噴淋盤，就是先鋒半導體研發生產的。目前，先鋒半導體已成為中芯國際、中微半導體、北方華創、北方微電子等國內半導體企業的重要供應商。

游利表示，下一步，先鋒將在半導體裝備關鍵零部件國產化替代、本地化研發領域，堅定走“專精特新”發展之路。同時，瞄準行業前沿，用國際化的眼光對標、趕超行業先進，致力打造全球有競爭力的精密制造專家。