上海精測中標長江存儲集成式膜厚量測儀

據悉，精測電子控股子公司上海精測半導體技術有限公司中標長江存儲的3臺集成式膜厚光學關鍵尺寸量測儀。

上海精測以橢圓偏振技術為核心，在 1 年多時間內開發了適用于半導體工業級應用的膜厚測量以及光學關鍵尺寸測量系統，包括集成式膜厚測量機 EFILM 300IM、集成單 / 雙模塊膜厚測量機 EFILM 300DS、高性能膜厚及 OCD 測量機 EPROFILE 300FD 等產品型號。近日實現 3 臺來自長江存儲的集成式膜厚光學關鍵尺寸量測儀訂單，表明上海精測已具備晶圓制造環節的膜厚量測設備重復、批量供應能力。

據了解，精測電子控股子公司上海精測半導體技術有限公司已完成股權變更，新增六位股東，分別為上海半導體裝備材料產業投資基金合伙企業、上海青浦投資有限公司、上海精圓管理咨詢合伙企業、國家集成電路產業投資基金股份有限公司(國家大基金一期)、馬駿和劉瑞林。其中，國家大基金一期此次注資 1 億人民幣，對上海精測半導體持股 15.38%，為并列第二大股東。