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        麻省大學(xué)選用AIXTRON愛思強(qiáng)系統(tǒng)用于碳納米管和石墨烯核心研究

        作者: 時(shí)間:2013-09-27 來源:IC設(shè)計(jì)與制造 收藏

          愛思強(qiáng)股份有限公司宣布,美國麻省大學(xué)羅威爾分校(University of Massachusetts (UMass) Lowell)向其訂購一套能處理4英寸基材的BM沉積系統(tǒng)。該設(shè)備已運(yùn)往麻省大學(xué)新近落成的新興技術(shù)與創(chuàng)新中心(ETIC),該中心是由學(xué)界、創(chuàng)業(yè)公司和駐校企業(yè)共享的頂尖研究設(shè)施。

        本文引用地址:http://www.104case.com/article/170406.htm

          麻省大學(xué)核心研究設(shè)施的納米加工潔凈室運(yùn)營總監(jiān)Thomas Ferraguto表示:“我們計(jì)劃借助這套新系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)將廣泛應(yīng)用到多種電子應(yīng)用領(lǐng)域,例如高頻晶體管、能源存儲和柔性電子產(chǎn)品。我們的工程團(tuán)隊(duì)致力于開發(fā)和利用的特性。BM系統(tǒng)為我們了提供一個(gè)靈活、可靠的材料沉積平臺。”此外,對于多方共享的研究設(shè)施而言,BM系統(tǒng)的耗材追蹤功能也是優(yōu)勢之一,可以確保將運(yùn)營成本準(zhǔn)確分配到相應(yīng)的研究或商業(yè)最終用戶上。

          將的獨(dú)特屬性推向商業(yè)應(yīng)用,是未來研發(fā)和制造領(lǐng)域面臨的主要挑戰(zhàn)。AIXTRON愛思強(qiáng)提供有高度靈活的石墨烯和碳納米管材料沉積系統(tǒng),可以對臨界表面的尺寸進(jìn)行精確控制,從而助力制造商有效提高產(chǎn)量、性能、良率和質(zhì)量。此外,BM系統(tǒng)還具有自動(dòng)化流程控制、配方更改簡單易行、內(nèi)置流程監(jiān)控?cái)z像頭和可通過TCP/IP網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行遠(yuǎn)程操作的優(yōu)勢。該系統(tǒng)已獲得全球各地研究人員的青睞,用于探索新的研發(fā)可能及為科學(xué)、工程和工業(yè)領(lǐng)域提供支持。



        關(guān)鍵詞: 碳納米管 石墨烯

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