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        麻省大學選用AIXTRON愛思強系統用于碳納米管和石墨烯核心研究

        作者: 時間:2013-09-27 來源:IC設計與制造 收藏

          愛思強股份有限公司宣布,美國麻省大學羅威爾分校(University of Massachusetts (UMass) Lowell)向其訂購一套能處理4英寸基材的BM沉積系統。該設備已運往麻省大學新近落成的新興技術與創新中心(ETIC),該中心是由學界、創業公司和駐校企業共享的頂尖研究設施。

        本文引用地址:http://www.104case.com/article/170406.htm

          麻省大學核心研究設施的納米加工潔凈室運營總監Thomas Ferraguto表示:“我們計劃借助這套新系統,實現將廣泛應用到多種電子應用領域,例如高頻晶體管、能源存儲和柔性電子產品。我們的工程團隊致力于開發和利用的特性。BM系統為我們了提供一個靈活、可靠的材料沉積平臺。”此外,對于多方共享的研究設施而言,BM系統的耗材追蹤功能也是優勢之一,可以確保將運營成本準確分配到相應的研究或商業最終用戶上。

          將的獨特屬性推向商業應用,是未來研發和制造領域面臨的主要挑戰。AIXTRON愛思強提供有高度靈活的石墨烯和碳納米管材料沉積系統,可以對臨界表面的尺寸進行精確控制,從而助力制造商有效提高產量、性能、良率和質量。此外,BM系統還具有自動化流程控制、配方更改簡單易行、內置流程監控攝像頭和可通過TCP/IP網絡進行遠程操作的優勢。該系統已獲得全球各地研究人員的青睞,用于探索新的研發可能及為科學、工程和工業領域提供支持。



        關鍵詞: 碳納米管 石墨烯

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