關 閉

        新聞中心

        EEPW首頁 > 工控自動化 > 設計應用 > 利用差頻電路實現微電容式傳感器檢測電路的溫漂抑制

        利用差頻電路實現微電容式傳感器檢測電路的溫漂抑制

        作者: 時間:2010-01-07 來源:網絡 收藏

         0引言
         是將被測的非電量變化轉換為量變化的一類,由于它具有靈敏度高、功耗低、溫度漂移小等優點,因此廣泛應用在壓力、濕度、溫度和加速度等測量中。MEMS(微電子機械系統)體積小的特點決定了敏感器的電容值不可能大,一般為pF量級,而由這些物理量引起的微電容的變化更加微小,一般為fF甚至aF量級。如此小的變化量對的設計是一個挑戰。傳統的用分立元件搭制的方法將無法適應傳感器電容不斷減小的趨勢,因此設計匹配的接口集成是十分必要的。常用的低值電容測量電路都是把電容的變化轉變為電壓或頻率。目前大多數國外MEMS傳感器廠家采用開關電容電路作為電容信號的接口。這一電路的特點是精度高、可與傳感器的高度集成,但電路結構相對復雜,對于工藝精度要求較高。其次是采用振蕩法將敏感電容變化轉換為頻率或周期,電路簡單,易于,輸出的頻率信號具有準數字輸出的特點,便于測量。本文介紹的電路正是基于這種原理。

        本文引用地址:http://www.104case.com/article/163353.htm

          1微電容

          已推導的基于施密特觸發器檢測電容的方法不同,為了避免輸出頻率受電源電壓、溫度變化和工藝波動的影響,本實驗室開發的微電容式傳感器檢測電路在張弛振蕩器的基礎上設計了一種差頻電路,其模塊示意圖如圖1所示。本文對敏感電容檢測電路的流水芯片進行了測試和分析,并搭建了圖1所示結構的整個電路,仿真并測試了該電路的特性。

          2接口電路的分析與改進

          2.1振蕩器電路

          圖2是本實驗室已經流片的敏感電容振蕩電路。該電路由開啟電路、恒流源、CMOS開關、施密特觸發器以及反相器組成。

          由圖3和圖4可見,該電路了輸出波形的頻率與敏感電容的變化成反比的關系,從振蕩器的輸出端讀取頻率完全可以檢測到傳感器電容的變化。但是存在兩個問題:一是輸出頻率過大,不方便單片機讀數;二是輸出頻率仍然受電源電壓、溫度變化和工藝波動的影響。

        DIY機械鍵盤相關社區:機械鍵盤DIY


        電容傳感器相關文章:電容傳感器原理

        上一頁 1 2 3 4 下一頁

        評論


        相關推薦

        技術專區

        關閉
        主站蜘蛛池模板: 安顺市| 开原市| 安西县| 崇仁县| 辉南县| 雷山县| 阿拉善右旗| 灌南县| 松滋市| 西乌| 新巴尔虎左旗| 广州市| 临湘市| 神农架林区| 常熟市| 萝北县| 辉南县| 黄骅市| 古交市| 高雄市| 盐津县| 耒阳市| 丹东市| 清徐县| 吴堡县| 团风县| 玉环县| 丹凤县| 垦利县| 新乐市| 竹山县| 高邑县| 天门市| 乌鲁木齐市| 光山县| 徐闻县| 余庆县| 特克斯县| 东乌珠穆沁旗| 枣阳市| 周口市|