電容式邊緣傳感器的設計
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實驗采用如圖9所示的V1信號經過功率調整的電壓信號作為比較信號，圖10對應C1=C2輸出信號濾波前后波形，圖11，圖12分別對應C1> C2，C1C2時的比較信號和輸出信號波形。輸出信號和比較信號通過相位檢測電路的輸出結果如表1所示，實驗結果表明微動臺兩平板初始間隙為5μm，該電路能夠檢測到小于5 nm的平行度。本文引用地址：http://www.104case.com/article/162235.htm
4 結語
作為納米級的電容式邊緣傳感器，可以廣泛應用于精密控制領域。在天文上。能夠檢測到5nm的平行度的傳感器，可以應用于光學鏡面調整，目前法珀和拼接鏡面技術應用越來越廣泛，電容式邊緣傳感器因其體積小、成本低、溫度穩定性好等諸多優點，在法珀和拼接鏡面技術發展中的地位不容小覷。電容式邊緣傳感器技術在國內發展仍不成熟，提高該傳感器電路性能，減少噪聲等誤差源的影響，實現大行程，高精度的測量是我們下一步繼續努力的目標。
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