Manz發布業界產出量最快的濕制程設備 加快cSi生產制程整合

　　高科技產業整合解決方案供應商Manz將參展SNEC 2012第六屆國際太陽能產業及光伏工程(上海)展覽會暨論壇 (展位：E3館，310)，屆時將展示其最新的晶體硅太陽能電池濕制程設備：IPSG CEI 4800。該設備主要用于去除晶片背部及邊緣的高摻雜層，進而產生化學邊緣隔離(CEI)，還能去除之前擴散過程中在晶片正面生成的磷硅玻璃(PSG)。Manz創始人兼首席執行官Dieter Manz先生說：“憑借新式的濕制程設備，我們真正填補了Manz先前在光伏制程工藝中缺失的環節。”其最新研發的海綿滾輪工藝實現了更快的直進式輸送，不僅能平穩地傳送硅片，同時還能確保更高的制程穩定性。

　　正如IPSG CEI 4800的名稱所示，其產出量每小時最高可達4800 片。該設備將會與用于裝/卸載硅片的Manz SpeedPicker進行捆綁銷售。Manz還將在今年9月份相繼推出新式真空鍍膜設備和制絨設備，致力成為全制程設備的供應商。

　　在5月15日，SNEC 2012開幕的前一天，Manz位于蘇州的新工廠將正式開業，IPSG CEI 4800也將在該工廠正式投產。憑借公司20年來在濕制程領域積累的豐富經驗，Manz將以更有效率的服務為重點客戶提供兼具當地價格與德國品質的高性價比產品。