Immersion機臺缺貨　臺DRAM廠改采購舊機種應急

　　全球半導體產業走入50奈米制程后，浸潤式曝光機臺(Immersion Scanner)出現大缺貨，尤其是最新款的NXT:1950i機種上，交期幾乎拉到快12個月，使得2010年才下訂單的臺系DRAM廠苦等多時;存儲器業者透露，爾必達(Elpida)陣營開始轉向采購舊機種XT:1950i應急。然美光(Micron)陣營則認為，舊機種頂多用到40奈米制程就是極限，不像新機種NXT:1950i可以一路做到30奈米。

　　半導體產業在進入50奈米以下制程，都必須開始用Immersion Scanner，此機器設備1臺價格高達新臺幣10億~20億元，過去2年DRAM產業不景氣時，臺系廠商根本沒有資金可以去預定機臺，因此設備商 ASML現在交貨都以臺積電、三星電子(Samsung Electronics)、東芝(Toshiba)等大廠為主，臺灣DRAM廠轉制程的進度也因此被嚴重耽擱。

　　目前4大DRAM陣營當中，三星和海力士(Hynix)等韓系大廠早已拿到Immersion Scanner機臺，不但已經量產50奈米制程，也開始大量轉進30奈米，美光陣營由于資金充足，Immersion Scanner機臺近期也都陸續到貨，只剩下爾必達陣營的Immersion Scanner機臺到位時程最晚。

　　存儲器業者透露，爾必達陣營中的臺系DRAM廠，日前也決定放棄等待交期長達12個月的新機種NXT:1950i，轉向采購舊機種XT:1950i，一來不用等太久，二來 XT:1950i機種比NXT:1950i便宜約20%，可以節省支出費用。

　　然而，ASML 新一代的NXT:1950i標榜可以因應到30奈米制程的技術，且產出速度更快，1小時?出可達175~200片晶圓，但舊機種XT:1950i可能只能因應到40奈米制程，屆時如果要再導入30奈米世代制程，就要再花錢更新機臺。

　　目前兩陣營各有各的說詞，美光陣營由于資金充裕且預定的時間點早，因此策略是傾向是一步到位，全數都采購最新的NXT:1950i，因應美光、南亞科和華亞科計劃2011年將要開始導入35奈米，屆時不用再更新機臺。

　　然爾必達陣營確認為，舊機種XT:1950i雖然只能做到40奈米世代，但現在要搶時效比較重要，Immersion Scanner機臺越早進入，越可以快速轉進42奈米制程，拉進與同業間的距離，等到30奈米世代時，其實只要再補足一些機臺就可以繼續轉進，并不需要全數更換。

　　DRAM業者認為，爾必達陣營為了搶時效采購XT:1950i世代的機器未必是壞事，如果現在不趕緊轉進42奈米制程，光是靠63 奈米制程支撐，雖然成本結構仍有優勢，但卻沒有2Gb產品可以滿足客戶的需要。

　　DRAM業者進一步分析，爾必達一向擅長利用現有制程微縮，以最少的費用創造最大的效應，象是這次從65奈米微縮成的63奈米就是杰作之一，其成本效應和50奈米不相上下，但投資金額卻降至最低。

　　未來到40奈米以下，爾必達也利用微縮技術的優勢做了3個版本的技術，包括40奈米4F2技術、35奈米和38奈米，屆時會看哪里個制程夠成熟，再選擇量產哪里項技術，若幸運的話，XT:1950i在未來1年半之內都可以持續使用，屆時需要再添購部分的NXT:1950i機臺時，Immersion Scanner機臺的缺貨荒可以早已解除。