技術(shù)社區(qū)
        
                        
					
        

					
        
				
        		
				
				
        
					
        
						
						
        
						
        
						
        FEOL
        
						
                        
        
                        FEOL就是制程的前道，形成Device
 
feol特指那些形成活性電性部件之前的生產(chǎn)步驟。在這些步驟中，晶片表面尤其是mos器件的柵區(qū)域，是暴露的、極易受損的。在這些清洗步驟中，一個極其關(guān)鍵的參數(shù)是表面粗糙度。過......	
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