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        HKMG
        
						
                        
        
                        HKMG(high-k絕緣層+金屬柵極) 
 
HKMG的優勢和缺點
優勢：不管使用Gate-first和Gate-last哪一種工藝，制造出的high-k絕緣層對提升晶體管的性能均有重大的意義。high-k技術不......	
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