mems studio 文章 最新資訊
基于ARM與MEMS器件的微慣性測量裝置設計
- 在仿生推進機理的研究中，精確測量魚類尾鰭拍動參數對于魚類仿生推進機理研究及工程應用具有重要的意義;然而，目前研究者大多采用分析高速攝像機拍攝的圖像獲得參數的觀測方法。這種方法受到環境與設備的限制，結果精確度較差。本設計是一種基于MEMS器件的生物運動微慣性測量裝置。利用該裝置實現了對SPC-III機器魚尾鰭拍動參數的精確測量，為國內首次利用MEMS器件進行的活體魚尾鰭拍動參數測量實驗打下了基礎，為機器魚仿生推進設計理論提供支撐。 1 設計要求和系統結構 根據活體魚類的生物特征和實驗本身的特
- 關鍵字： ARM MEMS
MEMS硅膜電容式氣象壓力傳感器的研制
- 1 引言 大氣壓力傳感器在工業生產、氣象預報、氣候分析、環境監測、航空航天等方面發揮著不可替代的作用。傳統的壓力傳感器一般為機械式，體積比較大，不利于微型化和集成化。利用MEMS技術不僅可以解決上述缺點，還能極大地降低成本，而性能更為優異。如今基于MEMS技術得到廣泛應用的壓力傳感器主要有壓阻式和電容式兩大類，壓阻式壓力傳感器的線性度很好，但精度一般，溫漂大，一致性差;電容式壓力傳感器與之相比，精度更高，溫漂小，芯片結構更具魯棒性，但線性度差且易受寄生電容的影響。目前MEMS電容式壓力傳感器多用
- 關鍵字： MEMS
MEMS固態風速風向傳感器的設計與制作
- 1 引言 風速及風向的測量是氣象觀測中重要的一環。風速風向可以基于流體力學原理、熱學原理、聲學原理和仿生學原理來測量。熱式測風儀基于風對熱體的對流作用來測量風速和風向，其存在一個精密的熱源，通過把兩對相對的熱源與熱電偶正交放置測量風向。超聲測風儀可以同時進行超聲波的發射和接收，基于多普勒效應測量風速，用三個或者四個探頭根據三角關系測量風向信息。基于MEMS技術傳感器有體積小、重量輕及成本低的特點，基于MEMS技術的風速和風向測量傳感器受到了研究者的重視。 本文介紹了基于MEMS的固態風速風
- 關鍵字： MEMS
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