- 以評估高深寬比TSV 應用的金屬化制程
濕式納米薄膜沉積工藝能夠以低持有成本提供20:1深寬比TSV
3D 整合正朝著中段鉆孔(via middle approach)的做法發展,即在前端工藝之后,但卻在堆疊之前形成TSV。一些應用正處于研發階段,導致TSV技術的限制和不同規格。 Alchimer 的技術顯示出突破現有障礙,實現高深寬比TSV 的潛力。此次協作將評估其技術的潛力及其大批量生產的適用性。
Alchimer 的執行長Bruno Morel 表示:「目前的技術,例如PECV
- 關鍵字:
Alchimer PECVD
- 日前,Alchimer, SA 宣布與法國研究機構CEA-Leti 達成協作合約,以評估和實施Alchimer為300mm 大批量生產的濕式沉積工藝。該專案將為隔離層、阻擋層和晶種層評估Alchimer 的Electrografting (eG?) 和Chemicalgrafting (cG?) 制程。
- 關鍵字:
Alchimer 3D TSV
- 從某些方面上看,22nm節點制程也許并不算是什么技術上的突破,相反,在人們的眼中這可能是一種吃力而不討好的活兒。從高端角度上看,向22nm節點制 程轉換并不需要對制程技術進行什么翻天復地的大變革,而且實現這種制程技術的技術壁壘也不算很高(當然工程師還是需要解決一些技術問題),同時對 Intel,臺積電,三星等業界巨頭而言,也完全有資源有能力解決這些問題,但對其它實力稍差的競爭者而言,也會有自己的技術和市場措施來抵擋這些巨頭的 22nm制程攻勢。
- 關鍵字:
Alchimer 22nm
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