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AFM：應(yīng)對(duì)65nm以下測(cè)量技術(shù)挑戰(zhàn)
- 半導(dǎo)體工業(yè)目前已經(jīng)進(jìn)入65納米及以下技術(shù)時(shí)代，關(guān)鍵特征通常為納米級(jí)，如此小特征的制造工藝要求特殊的測(cè)量?jī)x器，以便能夠表征出納米級(jí)幾何尺寸，從而檢驗(yàn)出任何偏離工藝規(guī)格中心值的情況，確保與設(shè)計(jì)規(guī)格保持一致。
- 關(guān)鍵字： AFM 65 nm 測(cè)量技術(shù)
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