干膜光刻膠技術(shù) 文章 最新資訊
泛林集團在提高EUV光刻分辨率、生產(chǎn)率和良率取得技術(shù)突破
- 泛林集團與阿斯麥 (ASML) 和比利時微電子研究中心 (imec) 共同研發(fā)的全新干膜光刻膠技術(shù)將有助于提高EUV光刻的分辨率、生產(chǎn)率和良率。
- 關(guān)鍵字： 泛林 EUV 干膜光刻膠技術(shù)
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干膜光刻膠技術(shù)介紹
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