完善超純水系統提高IC制造良率

　　超純水制取系統是為了去除一次純水處理系統中殘留的微量雜質而設置的，值得注意的是，超純水制取系統在去除水中各種雜質的同時，如何保證去除設備因自身材質而引起的污染應引起人們的高度關注。也就是說，一個完整的超純水系統，不但要有合理的制水流程，而且還要對每個處理設備自身的微量溶出問題進行研究。此外，超純水的輸送方法，配管、閥門材質的選定也應引起人們的高度重視。

　　超大規模集成電路清洗設備要求的水質幾乎均為超純水，這些清洗設備用水點的排水幾乎全部可以回收，經回收處理后的水一部分可以作為冷卻塔和廢氣洗滌塔的補水，另一部分可以與超純水制備預處理系統的出水一起進入預處理水池，作為超純水制備的補充水。目前，在實際工程中，水的回收率可以達到70%。要使回收水系統達到良好的處理效果，除了需要確定合理的處理流程外，生產設備排水的分類收集也是非常重要的，這樣做，可以防止高濃度TOC和其他不純物質進入回收水系統。