TFT高性能光刻膠國產化勢在必行

　　TFT-LCD產業是當今產業界幾個高成長產業之一。近10年來，日本、韓國及我國臺灣等國家和地區，已經為它投資了上千億美元，形成地域相當集中、規模相當巨大的產業集群。

　　我國光刻膠用量逐年增加

　　中國液晶產業始于1980年，起步并不晚。但是我們長期限于TN、STN-LCD。在2003年后才真正開始大規模建設TFT-LCD生產線，目前已經量產的廠家主要是京東方、上廣電、龍騰和深超光電4家，產能約占全球總產能的4%。

　　目前我國在建和待建的大尺寸TFT-LCD生產線共有8條，其中，京東方除了規劃在北京建設8代面板生產線外，在位于安徽合肥的6代線已于今年4月動工，位于四川成都的4.5代線則于去年動工。彩虹集團在江蘇省張家港的6代線也已動工。深圳天馬去年下半年在武漢、成都分別投資2條4.5代線，其中武漢4.5代線已投產。深圳萊寶有1條2.5代線正在興建中。昆山龍騰光電也正籌建1條7.5代線。

　　隨著我國TFT-LCD行業的迅速發展，專用高檔光刻膠市場廣闊，我國已經建成投產的5代TFT-LCD生產線共需大約550噸～600噸/年的紫外正性光刻膠與之配套，在建及籌建的6代生產線約需500噸/年左右的紫外正性光刻膠與之配套，籌建中的7.5代生產線約需600噸/年左右的紫外正性光刻膠與之配套，而京東方籌建中的8代生產線預計年產能可達600萬片左右，僅此生產線所需配套的正膠就將超過1000噸/年的規模。到“十二五”期間，我國高端TFT-LCD生產線配套所需的高檔光刻膠將超過3000噸/年的規模。

　　目前為TFT-LCD生產線提供光刻膠產品的主要有日本的東京應化(TOK)、美國的羅門哈斯(Rohm&Haas)、韓國的Dongjinsemichem和我國臺灣的永光化學。中國大陸尚無TFT-LCD生產線配套用的光刻膠的生產能力，全部依賴進口。

　　TFT光刻膠國產化迫在眉睫

　　光刻膠作為TFT-LCD產業發展的關鍵性基礎材料之一，是微電子化學品中技術含量最高的產品，其質量的優劣及制備技術的高低已成為制約我國高端TFT-LCD加工技術發展的瓶頸，其重要地位日益凸顯，因此專用TFT-LCD光刻膠的研發與國產化生產已經迫在眉睫。

　　在TFT-LCD光刻膠國產化進程中，有若干關鍵問題需要解決。首先，從光刻膠本身的技術研究來看，在TFT-LCD制造過程中，與IC制作的硅晶圓相比，所使用的玻璃基板面積更大，要求配套使用的光刻膠能夠在寬闊的襯底表面形成形狀和尺寸等性能良好的抗蝕圖形，因此TFT-LCD對光刻膠的要求與IC制作過程中所使用的光刻膠有所不同，TFT-LCD用光刻膠必須具有良好的涂布均勻性，其感光速度快、曝光寬容度大，具有良好的線性、高對比度和高分辨率，與玻璃基板具有良好的粘附性和高抗蝕性。其中涂布均勻性和高感度尤為重要。

　　其次，在TFT-LCD光刻膠的上游原材料中，樹脂、感光劑、高純溶劑等是其中的主要原材料。當前國內材料存在質量穩定性的問題，光刻膠制造所需的大部分原料短期內尚難實現國產化。隨著競爭的加劇，基礎原料的國產化有效降低產品成本將成為必然趨勢。在當前形勢下，國內光刻膠公司可采取兩步走的方案解決原料國產化的問題：第一步，采用以自主知識產權的技術，委托國外的光刻膠原料公司為其生產原料的方式來解決目前的供貨。第二步，隨著光刻膠原料市場的逐漸成熟，生產產酸劑、樹脂及其他助劑的國內生產企業一定會應運而生的。到時候國內的光刻膠公司必將會盡企業之所能與適時出現的原料生產廠商合作，這不僅能帶動相關產業實現光刻膠原料的國產化，也能降低企業的成本。這是水到渠成的事，于國、于民、于企業都有好處。

　　北京科華微電子材料有限公司在北京的天竺出口加工區完成了百噸級的高檔g線和i線正膠的建設，大大推進了國內集成電路和液晶顯示業所需的高檔光刻膠本土化的實現進程。

　　科華微電子目前致力于TFT-LCD配套專用紫外正性光刻膠的生產及市場推廣，主要是在努力占領國內已投產的5代生產線和在建及籌建中的6代及以上TFT-LCD制作方面的市場。這不僅將促進我國液晶顯示器件制作技術的發展，也將提高我國微電子材料方面的研制與生產技術水平，同時可以帶動我國精細化工材料、高純試劑的研發與生產技術水平的提高。