我國多晶硅生產集成工藝技術又獲新突破

　　科技部和中國電子材料行業協會在洛陽中硅高科組織召開驗收評審會。中硅高科承擔的國家"十一五"科技支撐計劃課題大型三氯氫硅合成、提純工藝技術與關鍵裝置研究、高效加壓還原爐系統研究、大型低溫加壓四氯化硅氫化技術與裝置研究三個課題和參與完成的多晶硅標準、專利體系建設與研究課題順利通過驗收評審。專家認為，這四項科技成果成功解決了規模化多晶硅生產中的瓶頸問題，填補國內空白，標志著我國多晶硅生產集成工藝技術又獲新突破。