ECI Technology的化學檢測系統成功在歐洲知名半導體研究中心裝載

        全球領先的濕法化學度量技術供應商ECI Technology近日宣布一家歐洲知名的半導體研究中心成功裝載了On-Line Quali-Line QLC-7500 Chemical Monitoring System（CMS）。ECI Technology將在近期舉行的SEMICON China中參展，展位號是4722。

        QLC-7500是一臺在線分析設備，可用來監測和控制硅通孔（TSV）銅淀積工藝。它能精確測量電鍍和填充工藝中無機成分和所有有機添加物的濃度。QLC-7XXX化學檢測系統是銅電鍍（大馬士革）工藝最常用的分析設備，全球主要的半導體制造商均選擇該系列設備。

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