Epson Toyocom推出小型高性能的水晶絕對壓力傳感器

　　Epson Toyocom公司最新開發出具有±10帕（約一萬分之一氣壓）的高精度與0.1帕的高分辨能力的高性能，且體積為12.5ml、重量為15g的小型水晶絕對壓力傳感器。 預計2009年度商品化。

　　壓力傳感器在通常情況下存在下述技術難題：小型化時會造成性能下降；追求高性能時又不得不增大構造。

　　Epson Toyocom在壓力檢測單元中采用音叉型晶體單元，由此可以得到安定度高的振蕩頻率，從而實現了具有高精度及高分辨能力的水晶壓力傳感器。在此之上又使用QMEMS技術新開發出獨創的壓力傳感構造，使同時具有小型及高性能——這兩種相對性能的產品的實現變為可能。為在氣象或安全( 氣象觀測中大氣壓的高精度測試; 大氣壓變化的高低差(以約1cm為單位的高度)的測試;測試室內門窗等開關而造成的微小的內部壓力變化)等使用壓力傳感器領域各種儀器的小型化及性能提高上做出貢獻。而且是通過搭載于周圍機器，還可應用于高精度氣壓測試等新領域的可行性的產品。

　　現在，Epson Toyocom正將本產品所采用的獨創的壓力傳感構造不斷推廣到其它能夠適用于各種用途的水晶壓力傳感器的開發上，今后亦將不斷推進使用基于QMEMS技術的超精微加工技術、晶體振蕩器中醞釀出的高安定振蕩電路技術以及高精度檢測技術的進化，創造出更高程度的高性能化和小型化。

【主要規格】