激光測量在數(shù)控機(jī)床定位中的應(yīng)用
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（4）待激光預(yù)熱后輸入測量參數(shù)。
（5）按規(guī)定的測量程序運動機(jī)床進(jìn)行測量。
（6）數(shù)據(jù)處理及結(jié)果輸出。
3．測量誤差分析
用雙頻激光干涉儀檢驗數(shù)控機(jī)床定位精度的測量誤差主要來源及分析如下：
3.1雙頻激光干涉儀的極限誤差
其中L為測量的長度（單位：m）
3.2安裝誤差
它主要是由測量軸線與機(jī)床移動的軸線不平行而引起的誤差，則有：
式中：L為測量的長度；
θ為測量軸線與機(jī)床移動的軸線之間的夾角。
由于光路準(zhǔn)直，θ值趨于0，故此項誤差忽略不計。
3.3溫度誤差
它主要是由機(jī)床溫度和線膨脹系數(shù)不準(zhǔn)備而造成的誤差，則有：
式中：L為測量的長度（單位為m）；
δt為機(jī)床溫度測量誤差；
α為機(jī)床材料線膨脹系數(shù)；
δα為線膨脹系數(shù)測量誤差。
從上面分析可以看出，在各項測量誤差中，溫度誤差對測量結(jié)果的準(zhǔn)確性影響最大，所以，為了保證測量結(jié)果的準(zhǔn)確性，測量環(huán)境溫度應(yīng)滿足20±5℃，且溫度變化應(yīng)小于±0.2℃/h，測量前應(yīng)使機(jī)床等溫12h以上，同時要盡量提高溫度測量的準(zhǔn)確度。另外，如果測量時安裝不得當(dāng)，由安裝所造成的誤差也是不可忽略的。(end)
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