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        激光測量在數控機床定位中的應用

        作者: 時間:2013-06-29 來源:網絡 收藏
        雙頻激光干涉儀是當代國際機床標準中規定使用的精度檢測驗收的測量設備,本文就如何應用雙頻激光干涉儀(以美國惠普公司生產的HP5528A雙頻激光干涉儀為例)檢驗數控也庫的精度進行了討論。

        1.測量隱理

        由激光頭激光諧振腔發出的He一Ne激光束,經激光偏轉控制系統分裂為頻率分別為f1和f2的線偏振光束,經取樣系統分離出一小部分光束被光電檢測器接收作為參考訊號,其余光束經回轉光學系統放大和準直,被干涉鏡接收反射到光電檢測器上。機床運動使干涉鏡和反射鏡之間發生相對位移,兩束光發生多普勒效應,產生多普勒頻移±Δf。光電檢測器接收到的頻率訊號(f1-f2±Δf)和參考訊號(f1-f2)被送到測量顯示器,經頻率放大、脈沖計數,送人數字總線,最后經數據處理系統進行處理,得到所測量的位移量,即可評定精度。

        2.測量方法

        (1)安裝雙頻激光干涉儀測量系統各組件(如圖1所示)。
        (2)在需測量的機床坐標軸線方向安裝光學測量裝置。典型的安裝如圖2所示:

        干涉儀相關文章:干涉儀原理



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