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        降低成本提高效率 MEMS動態晶圓測試系統

        作者: 時間:2013-10-14 來源:網絡 收藏
        ans: 2; widows: 2; webkit-text-stroke-width: 0px">一個電容的加速度計通過兩種生產流程來制造。一種流程使用傳統的方法,而另外一種流程使用方法。STI3000的數據使得最終器件級測試的合格率提高了40%。

        MEMS傳統測試方法和動態測試方法對比

        降低成本提高效率 MEMS動態晶圓測試系統


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        關鍵詞: MEMS 動態 晶圓測試

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