降低成本提高效率 MEMS動態晶圓測試系統 作者: 時間:2013-10-14 來源:網絡 加入技術交流群 掃碼加入和技術大咖面對面交流海量資料庫查詢 收藏 ans: 2; widows: 2; webkit-text-stroke-width: 0px">一個MEMS電容的加速度計通過兩種生產流程來制造。一種流程使用傳統的晶圓測試方法,而另外一種流程使用動態晶圓測試方法。STI3000動態晶圓測試的數據使得最終器件級測試的合格率提高了40%。 上一頁 1 2 下一頁
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