工信部推廣國產DUV光刻機，最小套刻精度≤8nm

大半導體產業網消息，自中華人民共和國工業和信息化部官網獲悉，日前，工信部宣布印發《首臺（套）重大技術裝備推廣應用指導目錄（2024 年版）》。

其中，在《首臺（套）重大技術裝備推廣應用指導目錄（2024年版）》電子專用裝備目錄下，集成電路設備方面包括：氟化氬光刻機，光源193納米，分辨率≤65nm，套刻≤8nm。

在“工信微報”官方公眾號中提到，重大技術裝備是國之重器，事關綜合國力和國家安全。中國首臺（套）重大技術裝備是指國內實現重大技術突破、擁有知識產權、尚未取得明顯市場業績的裝備產品，包括整機設備、核心系統和關鍵零部件等。該文件的發布旨在促進首臺（套）重大技術裝備創新發展和推廣應用，加強產業、財政、金融、科技等國家支持政策的協同。