兼顧高生產率與高分辨率， 佳能發(fā)售FPD曝光設備新品“MPAsp-H1003H”

佳能將于2022年7月下旬發(fā)售FPD（Flat Panel Display）曝光設備新品“MPAsp-H1003H”。作為支持第8代玻璃基板尺寸^*1的FPD曝光設備新產品，“MPAsp-H1003H”擁有1.5μm^*2（L/S^*3）的分辨率和±0.35μm的套合精度。

近年來，隨著遠程辦公需求的激增與在線教育的迅速普及，筆記本電腦、平板電腦等IT設備所用顯示器的需求也在持續(xù)增長。此外，由于電動汽車的普及與自動駕駛技術的不斷進步，更輕薄、高清優(yōu)勢的車載顯示器預計也將迎來市場需求的進一步增長。

雖然在第6代玻璃基板^*4上目前已經實現這類高清顯示器面板的量產。從一片玻璃能夠生產出更多顯示面板的觀點出發(fā)，第8代玻璃基板的市場需求也在不斷增加。本次發(fā)售的FPD曝光設備“MPAsp-H1003H”支持了第8代玻璃基板，同時兼顧1.5μm的分辨率和±0.35μm的套合精度，有助于提高應用在IT設備顯示器上的面板的生產效率。

1. 第8代玻璃基板上實現1.5μm高分辨率

本次發(fā)售的新產品沿用了針對第8代玻璃基板研發(fā)的FPD曝光設備“MPAsp-H1003T”（2018年10月推出）所搭載的投影光學系統(tǒng)，可實現對65英寸面板的一次曝光。此外，新產品還搭載了第6代玻璃基板的曝光設備“MPAsp-E813H”（2014年9月推出）所使用的超分辨技術^*5，該技術經驗證，可以實現1.5μm的高分辨率。在多種技術加持下，新產品既可以滿足IT顯示器用面板的高分辨率需求，又可以實現大型顯示器所需的最大65英寸無拼接式面板的制造。

2. 兼顧高生產性與高套合精度

通過對趨于成熟的高速載臺技術的升級和改進，并不斷提高了玻璃基板載臺的性能，本次發(fā)售的FPD曝光設備“MPAsp-H1003H”與上一代產品“MPA sp-H1003T”相比，實現生產效率約20%的提升。此外，通過結合“MPAsp-E813H”中經實績驗證的定位方式和倍率校正機構，新產品可實現±0.35μm的套合精度，與上一代產品“MPAsp-H1003T”相比提高了約20%。

3. 增強各類制造工序的工藝對應能力

新產品配備了包含超分辨率技術照明模式的切換構件和穩(wěn)定曝光線寬的自動曝光狹縫調整（SIC）構件，強化了多樣化制造工序的工藝對應能力，提供了更穩(wěn)定的制造質量。

*1尺寸2,200×2,500mm的玻璃基板，目前主要用于電視顯示器的面板制造。

*2 1微米是1米的百萬分之一（=千分之一毫米）。

*3 Line and Space和縮寫。Line和Space均勻分布的圖案。

*4尺寸1,500×1,850mm的玻璃基板，用于制造以智能手機為代表的中小型顯示器面板。

*5控制光的相位和強度以提高曝光裝置分辨率的技術。

**為方便讀者理解，本文中佳能可指代：佳能光學設備（上海）有限公司，佳能（中國）有限公司，佳能股份有限公司，佳能品牌等

主要優(yōu)點：

1. 在第8代玻璃基板上實現1.5μm的高分辨率

?   與第8代玻璃基板的前代曝光設備“MPA sp-H1003T”的2.0μm相比，通過采用第6代玻璃基板曝光設備“MPA sp-E813H”中久經考驗的超分辨率技術，新產品更進一步實現了1.5μm的高分辨率的曝光。

?   新產品還沿用了第8代玻璃基板的曝光設備“MPA sp-H1003T”的廣曝光視角，實現對65英寸面板的一次曝光。

2. 兼顧高生產率和高套合精度

?   與“MPA sp-H1003T”相比，通過改進高速載臺技術，提高玻璃基板載臺的性能，新產品的生產效率提高了約20%。

?   新產品搭載了曝光設備“MPA sp-E813H”中經實績驗證的倍率校正機構。對于在制造工序中形成多層時產生的基板形變，通過高精度校正驅動來進行準確地套合曝光。

?   采用在曝光設備“MPA sp-E813H”中經實績驗證的定位方式，新產品通過對每塊面板進行多點同時測量，在不降低生產效率的情況下有效提高測量精度，實現±0.35μm的套合精度。

3. 增強各類制造工序的工藝對應能力

?   新產品的照明模式可以根據需要曝光的圖案進行切換，從而適配各類制造工序的曝光。通過光學元件的不同組合，可以從適合重復類圖案的“Annular模式”、適合孤立類圖案的“Conventional 2模式”和適合需要高照度的圖案的“Conventional 3模式”中進行選擇。

?   在形成圓弧光的機構中，新產品配備有曝光狹縫自動調整機構（SIC：Slit Illuminance Control）。通過自動控制光線通過的狹縫寬度，可以改變曝光光線的強度分布，從而實現穩(wěn)定的曝光線寬。

關于規(guī)格

關于產品規(guī)格的詳細信息，請參閱佳能主頁。

關于佳能FPD曝光設備的工作機制

佳能的FPD曝光設備采用鏡面投影方式。鏡面投影單元由大凹面鏡、小凸面鏡和梯形鏡組成。通過將光照射在單元上方的光掩模上，光掩模上的電路圖案就可以在經過5次反射后準確地轉印在玻璃基板上。約1μm（1mm的千分之一）的精細電路圖案轉印到大型玻璃基板上時，凹面鏡特別關鍵。目前只有兼具尖端光學技術和生產技術的佳能才能研發(fā)生產直徑約1.5米的大型凹面鏡。

佳能的曝光方式在光學上具有完美對稱的結構，優(yōu)點是在原理上不會產生因斜射光引起的彗形像差（滲光），也不會因使用鏡頭的折射光學系統(tǒng)引起光的波長差異進而導致色差（色偏）。在圓弧形的范圍內有著最佳成像特性，再通過掃描該圓弧形的曝光區(qū)域即可實現大面積高分辨率性能。