用于大尺寸液晶屏制造設(shè)備的退火工序的準分子激光器

　　日本Gigaphoton公司2016年6月24日宣布，開發(fā)出了用于制造平板顯示器(FPD)的極小激光退火工序用準分子激光器“GIGANEX”系列。不久前將該激光器配備在日本V-Technology公司的極小激光退火裝置上，供貨給了大尺寸液晶屏制造設(shè)備工廠用于LTPS(低溫多晶硅)TFT液晶面板制造。

　　“GIGANEX”準分子激光器的機殼示意圖(照片出自Gigaphoton的新聞發(fā)布資料)

　　這是一款應(yīng)用高可靠性半導(dǎo)體光刻用準分子激光器的退火用準分子激光器，是專供V-Technology制造的裝置使用的專用機。通過導(dǎo)入已有的a-Si(非晶硅)面板制造工序，使a-Si向p-Si(多晶硅)結(jié)晶化，可制造用以往a-Si無法制造的8K等高精細面板。

　　另外還可實現(xiàn)以往激光退火工藝無法實現(xiàn)的大型面板尺寸的制造，可滿足制造50～70英寸TV面板的大尺寸液晶制造設(shè)備工廠的要求。

　　GIGANEX是面向FPD制造、柔性器件工藝及光刻以外的半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的準分子激光器產(chǎn)品的新品牌。Gigaphoton已在5月22～27日于美國舉行的“Display Week 2016”上，展出了用GIGANEX制造的試制面板。