擴散爐溫度自動控制系統中的FPGA設計

(10)實例化Core8051模塊該控制系統的系統軟件用805l編程實現，ACTEL公司提供的8051軟核是該控制系統的核心，系統設計是直接調用該軟核，然后實例化8051軟核。軟件中溫度控制算法采用增量式PID算法編寫，實現了高精度的溫度控制。圖5給出FPGA內部的805l模塊與內部存儲器之間的接口框圖。圖6給出Core8051與程序存儲器之間的連接框圖。圖7給出Core8051與A／D轉換器之間的連接框圖。

3 結語
擴散爐溫度自動監控系統的研究不僅可以廣泛應用于半導體制造行業中的干燥設備、擴散爐、熱處理設備，也可以移植應用于紡織、化工等其它行業的溫度控制系統。擴散爐溫控系統設計采用Fusion FPGA實現，電路更改方便，移植性強，與原系統相比，將多路A／D轉換、Core8051內核、PWM等模塊放到一個芯片內部，大大降低成本；采用PID算法控制，提高了精度；完成了多路溫度控制及無線傳輸功能。該系統已應用于集成電路工藝實驗室的擴散爐溫度控制系統，控制精度較前提高30％，完成了整個系統的數字化過程，取得了良好的實用效果。